[实用新型]高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器

权利要求书

1、一种高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，包括有衬底，其特征在于：电极层呈现梳状或网孔状的微结构。

2、根据权利要求1所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于衬底外侧设入光台面。

3、根据权利要求2所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于衬底采用InP基、GaAs基或Si基半导体材料。

4、根据权利要求1、2或3所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于电极层外侧设有底镜。

5、根据权利要求3所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于底镜由蒸镀的高反射率介质膜材料的DBR构成。

6、根据权利要求1、2或3所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于制备微结构电极时电极层表面覆盖或悬浮一掩膜层。

7、根据权利要求5所述的高速、高灵敏度的谐振腔增强型光电探测器，其特征在于掩膜层的材料为有机聚合物、半导体或金属。