[发明专利]有机EL显示装置的制造装置以及使用其制造有机EL显示装置的方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL显示装置的制造装置以及有机EL显示装置的制造方法。更详细地说，涉及能够制造可抑制象素中不发光区域或不发光点(有时称为暗点)产生的有机EL显示装置的制造装置，以及这种有机EL显示装置的制造方法。

另外，本申请说明书和权利要求书中记载的“EL”是“电致发光元件”的缩写。

背景技术

以前，对于有机EL显示装置，为了排除大气中水分产生的影响，抑制长期驱动时发光区域中不发光区域或不发光点的产生，讨论了各种密封手段或防潮手段。

而且，在制造阶段也讨论了不暴露在大气中制造有机EL显示装置的情况，这种制造装置公开于特开平8-111285号、特开平10-214682号、特开平10-335061号中。

例如，特开平8-111285号中公开的有机EL显示装置的制造装置250如图20所示，对于一个真空装置110，在其周围连接多个操作用真空室111～116，另外真空装置内设有搬送用的可动臂120，真空装置或操作用真空室在减压的状态下，基板104能够移动。

因此，能够通过一个真空装置，在各操作用真空室中，在基板上形成有机EL元件的各层。也就是说，从成膜工序直到形成保护膜，能够不暴露于大气中制造有机EL显示装置。

另外，特开平10-214682号中公开的有机EL显示装置的制造装置300如图21所示，具有独立的第1～第n操作用真空室222a～226a，以及与这些操作用真空室分别通过闸阀222d～226d连接的第1～第n搬送用真空室222～226。另外，各搬送用真空室222～226通过闸阀222c～226c沿水平方向连接，通过各搬送用真空室中设有的机械手222b～226b，能够将基板等从搬入口即第1干燥箱221移送至搬出口即第2干燥箱227。

因此，各操作用真空室中，形成有机EL元件各层的同时，通过搬送用真空室，能够在减压状态下在各操作用真空室中依次移动。也就是说，从成膜工序直到密封工序，能够不暴露于大气中制造有机EL显示装置。

另外，特开平10-335061号中公开的有机EL显示装置的制造装置350如图22所示，具有真空室315、与该真空室连接的真空装置307、该真空室内用于搬送有机EL元件309或密封用部件312的搬送施压手段316、使有机EL元件309和密封用部件312之间的粘结剂层313固化的固化手段311。

因此，能够在真空室315内形成有机EL元件各层的同时，对于预先在真空室内准备好的密封用部件312，通过搬送施压手段316使位置重合后，在从上方施压的状态下，进一步通过固化手段(紫外线露光装置)311，使粘结剂层313固化。也就是说，从成膜工序直到密封工序，能够不暴露于大气中制造有机EL显示装置。

但是，特开平8-111285号中公开的有机EL显示装置的制造装置，在真空槽周围设有5个操作用真空室(蒸镀室或溅镀室)，存在制造装置大型化的问题。

另外，没有设置用于给玻璃基板上形成了透明电极和有机膜等的有机EL晶片脱水的单元，得到的有机EL显示装置存在下述问题，难以降低有机发光介质中的含水率，容易产生作为不发光区域的暗点。

而且，有机EL晶片上形成保护膜后，由于暴露于大气中，存在容易造成密封不充分的问题。

另外，特开平10-214682号中公开的有机EL显示装置的制造装置，由于包括第1～第n操作用真空室、第1～第n搬送用真空室以及第1和第2干燥箱，且它们沿水平方向连接，存在制造装置显著大型化的问题。

另外，所述制造装置中虽然设有第1干燥箱，但是第1干燥箱是单纯将水分量控制到较低的空间，由于没有设置加热装置等，不能积极地对基板等含有的水分进行脱水。

因此，得到的EL显示装置难以降低有机发光介质中的含水率，难以充分抑制作为不发光区域的暗点等产生，长时间得到高发光亮度。

另外，特开平10-335061号中公开的有机EL显示装置的制造装置中也没有设置脱水工序，不能积极地对基板等含有的水分进行脱水。因此，得到的有机EL显示装置难以降低有机发光介质中的含水率，尚难以充分抑制作为不发光区域的暗点等产生，长时间得到高发光亮度。