[发明专利]检查部件及基板的制造方法

权利要求书

1.一种检查部件，用于检查电路连接线，其特征在于：包括：

接触于所述电路连接线并供给检查信号的探针；以及

印刷形成有非接触于所述电路连接线、并检测供给于该电路连接线的所述检查信号的电极的基板；

所述基板具有使所述探针贯穿插入的孔穴，该孔穴引导所述探针在轴方向的移动。

2.如权利要求1所述的检查部件，其特征在于：所述基板具有连接于所述电极的贯穿孔。

3.如权利要求1所述的检查部件，其特征在于：所述基板是多层基板，并具有连接于GND的导体层。

4.如权利要求1所述的检查部件，其特征在于：在所述基板上印刷形成连接于GND的导体图案。

5.如权利要求1所述的检查部件，其特征在于：

还包括：支持所述基板和所述探针的基础器件，

所述基础器件通过将所述探针朝向其轴方向推动的弹性器件来支持所述探针。

6.一种检查部件，用于检查电路连接线，其特征在于：包括：

接触于所述电路连接线并供给或检测检查信号的探针；以及

印刷形成有非接触于所述电路连接线、并供给或检测检查信号的电极的基板；

所述基板具有使所述探针贯穿插入的孔穴，该孔穴引导所述探针在轴方向的移动。

7.一种检查部件，用于检查电路连接线，其特征在于：包括：

接触于所述电路连接线并供给检查信号的探针；以及

印刷形成有用来检测由供给于所述电路连接线的所述检查信号所产生的电磁场的线圈状的导体图案的基板；

所述基板具有使所述探针贯穿插入的孔穴，该孔穴引导所述探针在轴方向的移动。

8.一种检查部件，用于检查电路连接线，其特征在于：包括：

接触于所述电路连接线并供给检查信号的探针；

印刷形成有非接触于所述电路连接线、并检测供给于该电路连接线的所述检查信号的电极的基板；以及

设置于所述基板、并用来检测由供给于所述电路连接线的所述检查信号所产生的电磁场的磁性感应器；

所述基板具有使所述探针贯穿插入的孔穴，该孔穴引导所述探针在轴方向的移动。

9.如权利要求8所述的检查部件，其特征在于：将所述磁性感应器配置在设于所述基板上的孔穴内。

10.一种基板的制造方法，该基板构成电路连接线检查用的检查部件，其特征在于：包括：

在基材上印刷形成非接触于所述电路连接线、并用来供给或者检测检查信号的电极的电极形成步骤；

在所述基材上形成可让所述探针贯穿插入、以便接触于所述电路连接线并供给或者检测检查信号的孔穴、该孔穴引导所述探针在轴方向移动的孔穴形成步骤。

11.如权利要求10所述的基板的制造方法，其特征在于：在所述电极形成步骤之前进行所述孔穴形成步骤。

12.如权利要求10所述的基板的制造方法，其特征在于：在所述电极形成步骤中，从所述基材上同样形成的导体中除去不需要的部分，由此形成所述电极。

13.一种基板的制造方法，该基板构成电路连接线检查用的检查部件，其特征在于：包括：

在基材上印刷形成对由供给于所述电路连接线的检查信号所产生的电磁场进行检测的线圈状的导体图案的导体图案形成步骤；

在所述基材上形成可让所述探针贯穿插入、以便接触于所述电路连接线并供给检查信号的孔穴、该孔穴引导所述探针在轴方向移动的孔穴形成步骤。

14.一种基板的制造方法，该基板构成电路连接线检查用的检查部件，其特征在于：包括：

在基材上印刷形成非接触于所述电路连接线、并用来供给或者检测检查信号的电极的电极形成步骤；

在所述基材上形成可让所述探针贯穿插入、以便接触于所述电路连接线并供给检查信号的孔穴、该孔穴引导所述探针在轴方向移动的孔穴形成步骤；

在基材上形成用于安装对供给于所述电路连接线的检查信号所产生的电磁场进行检测的磁传感器的孔穴的步骤。