[发明专利]检查部件及基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于检查电路连接线的检查部件等。

背景技术

在检查电路板上的电路连接线(导电图案)的断线、短路等问题的情况下，采用向电路连接线供给检查信号、并在电路连接线的端部将检查信号检测、并对其进行分析的方法。

对电路连接线供给并检测检查信号的方法，大致可分为两类：与电路连接线相接触而供给、检测检查信号的接触式、以及不接触电路连接线而检测检查信号的非接触式。

接触式的检查方法是众所周知的，由具有导电性的探头器件构成的探针(Probe)与电路连接线接触，通过该探针进行检查信号的供给、检测等。

另一方面，非接触式的检查方法，大致分为两种：一种为通过电路连接线和感应电极之间的电容耦合，对供给至电路连接线的检查信号进行检测；另一种则是对供给至电路连接线的检查信号所产生的电磁场进行检测。

参照图8说明前者按照电容耦合进行检查的原理。图8(a)是表示电容耦合的检查原理。

由信号源102向作为检查对象的电路连接线100的一个端部供给检查信号。而在电路连接线100的另一端部配置有未接触于电路连接线100的电极101。因为信号源102产生交流信号作为检查信号，所以将交流信号供给至作为检查对象的电路连接线100。而且，采用随时间变化的信号(例如：电压变化的频率为在1kHz～10MHz之间)作为检查信号，另外也可采用脉冲状信号代替交流信号。

在此，电极101和电路连接线100的另一个端部，处于电性的电容耦合状态，构成电容。从而，图8(a)的等效电路就成为图8(b)。因此，例如电路连接线100没有发生断线的话，由信号源102供给至电路连接线100的检查信号的相应信号就会出现在电极101，可以检测到检查信号，但是若电路连接线100断线的话，电极101上就几乎没有信号出现，由此，可判定电路连接线100是否有断线。

而且，上述电极101，虽然是专门用来检测检查信号的，只要把信号源102连接在电极101上，即可按照同样的原理，将检查信号供给至电路连接线100。即，电极101可以用于检查信号的检测，也可用于供给检查信号。

该检查方式优点为：因为并未接触电路连接线，所以不会对电路连接线造成损伤，并且，也能够适应细微的电路连接线。

下面，参照图9和图10说明检测电磁场的检查原理。图9和图10，是表示该检查原理的图。

通常在将作为检查对象的电路连接线端部连接于称为短路棒等的短路连接线的情况下，采用检测电磁场的检查方式。在图9中，作为检查对象的电路连接线112的端部连接于短路连接线111。

在此，如图9所示，若在相邻连接的2个电路连接线112之间赋予电位差，就会产生电流113，流经这些电路连接线112和短路连接线111。于是，被这些电路连接线112和短路连接线111围成大致コ字型的区域内，因电流113而产生电磁场114。

而且，使用线圈、霍尔器件等所构成的磁性感应器检测该电磁场114，由此检查赋予电位差的两电路连接线112的缺陷。具体地说，例如，如图10所示，电路连接线112之间，若发生因线115而短路之类的缺陷，图9的电流113就会分流到线115，造成电流113a和113b流动，因此产生对应于此的电磁场114a和114b。

此时，电路连接线发生缺陷的图10的电磁场114a或者电磁场114b、和正常的图9的电磁场114相比较，因为前者的电流113a或者电流113b比较小，所以其电磁场也比较弱。因此，只要对作为检查对象的两个电路连接线112和短路连接线111所大致包围的区域内的电磁场强度、分布等进行检测，由此可检测出电路连接线是否发生缺陷。

这样，电路连接线的检查方法，已经有各种提案，按照所检查电路连接线的不同而使用不同的检查方法。

另一方面，在实施这些电路连接线的检查方法时，与所检查的电路连接线相对应，使用被称为’夹具’的检查部件，其配置有探针、电极等，在合并数种检查方法的情况下，使用含有需要的探针、电极等混合存在的检查部件。图7(a)是现有技术的检查部件200的示意图，检查部件200具有接触检查用的探针、和非接触检查中的利用电容耦合的检查用的电极。

检查部件200具备有：基础基盘201；堆栈在基础基盘201上的加强板202；突出于加强板202表面的多个探针部203；设置在加强板202表面的电极部204。作为检查对象的电路基板被放置在基盘202上，检查部件200的定位插销205插入电路基板206上的孔穴内，由此，可使检查部件200配置在电路基板上。