[发明专利]缺陷知识库无效
申请号: | 01802982.5 | 申请日: | 2001-10-02 |
公开(公告)号: | CN1392954A | 公开(公告)日: | 2003-01-22 |
发明(设计)人: | 阿莫斯·多尔;马亚·拉德辛斯基 | 申请(专利权)人: | 应用材料有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 李德山 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 缺陷 知识库 | ||
1.创建缺陷知识库的方法,包括:
创建一个数据库条目,该数据库条目包括一个指定缺陷的一个研究案例,该研究案例包含含有一或多个缺陷图像的缺陷信息;和
存储数据库条目以备以后访问。
2.如权利要求1所述的方法,其中上述数据库条目被存储在一个服务器中。
3.如权利要求2所述的方法,其中还包括:
从至少一个客户端向上述服务器提供上述研究案例的信息。
4.如权利要求1所述的方法,其中创建案例历史记录的步骤包括:
从至少一个计量工具中选择缺陷信息。
5.如权利要求4所述的方法,其中计量工具包括一个扫描电子显微镜。
6.如权利要求1所述的方法,其中创建研究案例的步骤包括:
提供指定缺陷的原因;和
在上述数据库条目内存储原因。
7.如权利要求6所述的方法,其中上述数据库条目被存储在一个服务器内,上述服务器被连接到至少一个客户端并且由至少一个客户端提供原因。
8.如权利要求6所述的方法,其中创建研究案例的步骤还包括:
针对指定缺陷的原因提供一个解决方案;和
在上述数据库条目内存储解决方案。
9.如权利要求8所述的方法,其中上述数据库条目被存储在一个服务器内,上述服务器被连接到至少一个客户端并且由至少一个客户端提供解决方案。
10.如权利要求1所述的方法,其中上述数据库条目包括上述指定缺陷的分类代码。
11.如权利要求1所述的方法,其中上述创建研究案例的步骤包括:
使用一个数据组织模板输入缺陷信息。
12.如权利要求1所述的方法,其中上述创建研究案例的步骤包括:
从一个图像库中选择上述一或多个缺陷图像。
13.创建被存储在一个服务器中并且可以从多个客户端访问的缺陷知识库的方法,包括:
在一个或多个上述客户端收集缺陷信息,上述缺陷信息中一或多个缺陷的原因和排除一或多个缺陷的解决方案;
将缺陷信息,原因和解决方案传送到服务器;
将缺陷信息,原因和解决方案组织到多个数据库条目中;和
允许一个第二客户端访问一个第一客户端创建的数据库条目。
14.如权利要求13所述的方法,其中上述允许步骤包括:
限制上述第二客户端对上述第一客户端的上述数据库条目内部的敏感信息的访问。
15.如权利要求13所述的方法,其中还包括:
使用一个客户端远程编辑服务器上存储的缺陷信息,原因和解决方案。
16.如权利要求15所述的方法,其中编辑步骤还包括:
建立安全授权等级以限制多个客户端的编辑特权。
17.如权利要求13所述的方法,其中缺陷信息包括至少一个缺陷图像。
18.如权利要求13所述的方法,其中还包括通过一个浏览器接口从多个客户端访问服务器。
19.如权利要求13所述的方法,其中多个客户端通过互联网,局域网或广域网被连接到服务器。
20.如权利要求13所述的方法,其中缺陷信息,原因和解决方案构成指定缺陷的多个研究案例。
21.如权利要求20所述的方法,其中客户端可以搜寻上述多个研究案例。
22.一个缺陷知识库,包括:
一个客户端层,上述客户端层被多个客户端支持并且提供对一个缺陷知识库数据库的远程访问;
一个中间层,上述中间层被一个服务器支持并且为被连接到客户端层的各个客户端提供数据库访问控制;和
一个数据层,上述数据层包括缺陷知识库数据库,并且多个客户端中的各个客户端可以通过中间层访问缺陷知识库数据库。
23.如权利要求22所述的缺陷知识库,其中上述缺陷知识库数据库包括数据记录并且数据记录含有缺陷信息,缺陷原因和缺陷解决方案。
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