[发明专利]平板显示器的电极形成方法

说明书

                       技术领域

本发明涉及使用由含金属超细粒子及分散剂的金属超细粒子独立分散液组成的油墨喷射打印机用油墨的平板显示器(以下，也称FPD)的电极形成方法。

                       背景技术

过去，在着色涂料、导电涂料等的领域，使用金属超细粒子分散液，而迄今为止还没有作为油墨使用金属超细粒子分散液，利用油墨喷射记录方式形成FPD的电极的方法。FPD有液晶显示器(LCD)，等离子体显示板(以下，均称PDP)、有机EL显示器(EL)、场致发射显示器(FED)等多种多样，而本发明主要对PDP代表性地说明如下。

PDP作为民用的大型显示器而引人注目。为了广泛地进行普及，迫切希望通过制造过程的简化而大幅度降低成本。首先，对其制造过程，以42英寸高清晰度用彩色PDP的制造为例进行说明。工序由前面板与背面板的二种类的制造工序构成。前面板上的电极称扫描电极，在玻璃板上1024象素的各象素形成2根ITO透明电极。由于只用透明电极的电阻值高，故在透明电极上形成金属母线电极。母线电极宽50μm、厚2μm，过去的工序中，母线电极采用使用厚膜Ag糊的筛网印刷法或溅射法而全面成膜，使用抗蚀剂膜的光刻法的电极图形形成法而形成。其次，背面极上的电极称寻址电极，在玻璃板上1024象素的各象素直接形成3根电极，寻址电极宽50μm、厚2μm，与扫描电极同样地采用筛网印刷法、或溅射法、光刻法形成。扫描电极、寻址电极都从其上面形成玻璃介电体层。

前面板、背面板均经过其后面的工序后，彼此贴合而完成PDP板，在工序之中，电极形成工序最繁杂且费工时，影响成本的降低。

作为上述超细粒子分散液的制造法，众知有将金属超细粒子或粉末与溶剂、树脂、分散剂等一起采用搅拌、外加超声波、球磨机、混砂机等进行分散处理而制造超细粒子分散液的方法，而用该法制得的分散液可在涂料等的领域使用。该制造法中，例如，作为在液相中直接获得超细粒子的方法，有在气体环境气氛中且在溶剂的蒸汽共存的气相中使金属蒸发，使蒸发的金属冷凝成均匀的超细粒子而分散在溶剂中获得分散液的气体中蒸发法(特许公报第2561537号)、及利用不溶解性沉淀反应或采用还原剂利用还原反应的方法。在这些的金属超细粒子分散液的制法中，气体中蒸发法可稳定地制造粒径100nm以下的超细粒子均匀分散的分散液，而且，在制造时，只使用比液相法的量少的分散稳定剂或树脂成分，便可制得设定浓度的超细粒子分散液。

如上所述，作为油墨喷射用油墨，尚没有使用金属超细粒子分散液的例子，这是因为作为油墨喷射用油墨，尚没有满足为可使用的油墨特性(粘度、表面张力等)的产品。用过去的气体中蒸发法制得的金属超细粒子产生凝聚，即使试了在溶剂中分散，也难以变成稳定的状态。因此，作为油墨喷射用油墨，即使使用这样的金属超细粒子分散液，也存在金属超细粒子的凝聚体堵塞油墨喷射喷嘴的问题。当外，在超细粒子独立分散的金属超细粒子独立分散液中，作为油墨喷射用油墨使用这种分散液时，必须使用适合满足油墨特性的溶剂使之成为分散液。对于选择适当的溶剂，存在难以简单地满足的问题。

另外，在以往技术的气体中蒸发法中，蒸发的金属蒸汽进行冷凝时，共存的溶剂变性后产生副产物，由于这些副产物的量而在分散液保存时间、粘度、着色等方面有时产生问题。此外，如后面所说明的一样，该气体中蒸发法的工序中，分散在难以使用的低沸点溶剂或水及醇类溶剂等中的超细粒子分散液存在依分散液的用途所要求的问题。

根据PDP过去的制造过程，前面板与背面板分别用各自的工序制造，最后组合成板。

首先，对前面板的制造过程进行说明。接到玻璃基板检查后，用溅射法及光刻法形成扫描电极的ITO图案。由于只是ITO膜电阻值高，在ITO膜上作为母线电极形成宽50μm、厚2μm的金属膜，而这种方法，现在有以厚膜Ag焊锡膏为材料的筛网印刷法、或用光刻法将Cr/Cu/Cr的层合溅射膜进行图案蚀刻的方法二种。母线电极形成后，在其上面顺序形成玻璃介电体层、黑底、密封层、MgO层，然后移到用于与背面板组合的组装工序。

下面，对背面板的制造工序进行说明。接到玻璃基板检查后，形成寻址电极，该方法与前面板同样，有以厚膜Ag焊锡膏为材料的筛网印刷法，或采用光刻法把Cr/Cu/Cr的层合溅射膜进行图案蚀刻的方法二种。寻址电极形成后，在其上面顺序形成玻璃介电体层、条纹变化层、荧光体层、密封层，然后移到与前面板组合的组装工序，封装相互的板，排气，封入气体后，进行老化处理，完成PDP板。