[发明专利]等离子体处理装置及等离子体处理方法

权利要求书

1.一种等离子体处理装置，可对处理对象物进行等离子体处理，其特征在于：具有：

(A)收放所述处理对象物并进行等离子体处理的处理室；

(B)对该处理室内进行抽真空的抽真空装置；

(C)通过气体供给路径向处理室内供给等离子体产生用气体的气体

   导入装置；所述气体导入装置具有：

   (c1)开闭等离子体产生用气体供给源的气体供给路径的气体

       开关阀；

   (c2)在所述气体供给路径中，检测等离子体产生用气体的流

       量的流量检测部；

   (c3)设在气体供给路径中，并可调整开度的流量控制阀；

   (c4)基于指定向处理室内供给等离子体产生用气体流量的流

       量设定指令信号和所述流量检测部的流量检测结果，控

       制所述流量控制阀开度的反馈控制部；

(D)输出所述流量设定指令信号，同时控制所述气体开关阀开闭的

主控制部；

(E)在处理室内产生等离子体的等离子体发生装置。

2.按照权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述主控制部，具有当所述气体开关阀从关闭状态切换到打开状态时，控制所述流量控制阀关闭的程序。

3.按照权利要求2所述的等离子体处理装置，其特征在于：在将所述流量设定指令信号设定为零流量并输出时，维持关闭所述流量控制阀的状态。

4.按照权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述主控制部含有以下程序：

(v1)将所述流量设定指令信号设定为零流量并输出信号的步骤；

(v2)判定处理室内是否达到预先设定的真空度的步骤；

(v3)判定为已达到所述设定的真空度时，给出打开气体开关阀的

    指令的步骤；

(v4)将所述流量设定指令信号设定为规定的流量并输出信号的步骤。

5.按照权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于：所述主控制部，具有：  (J)判定功能；

(J1)压力判定功能；

(J2)阻抗匹配判定功能；  (I)信号输出功能；

(I1)流量设定指令信号输出功能；

(I2)阀开闭指令信号输出功能；

(I3)压力异常信号输出功能；  (T)计时器功能。

6.一种等离子体处理方法，是使用等离子体处理装置的等离子体处理方法，所述等离子体处理装置，具有：开闭等离子体产生用气体的供给路径的气体开关阀，和在所述气体供给路径中检测气体流量的流量检测部，和设在气体供给路径中的流量控制阀，和基于指定气体流量的流量设定指令信号和所述流量检测部的流量检测结果，控制所述流量控制阀开度的反馈控制部，和输出所述流量设定指令信号并控制所述气体开关阀的开闭的主控制部；

所述等离子体处理方法，其特征在于：具有

(A)对收放所述处理对象物并进行等离子体处理的处理室进行抽真空的抽真空工序；

(B)通过气体导入装置向进行了抽真空的所述处理室内供给等离子体产生用气体的气体供给工序；

所述气体供给工序，具有：

(b1)在关闭所述气体开关阀的状态下，把所述流量设定指令信号

    设定为零流量并输出的工序；

(b2)打开所述气体开关阀的工序；

(b3)在打开所述气体开关阀后，把所述流量设定指令信号设定为

    规定流量并输出的工序；

(C)在供给气体的处理室内产生等离子体的等离子体产生工序。

7.按照权利要求6所述的等离子体处理方法，其特征在于：把所述流量设定指令信号设定为零流量并输出，且维持关闭所述流量控制阀的状态。