[发明专利]半导体装置及其设计方法无效
申请号: | 02108725.3 | 申请日: | 2002-03-29 |
公开(公告)号: | CN1379471A | 公开(公告)日: | 2002-11-13 |
发明(设计)人: | 芳贺亮 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L27/00 | 分类号: | H01L27/00;H01L21/82 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 设计 方法 | ||
相关申请的交叉引用
本申请基于并要求在先的2001年3月26日递交的日本专利申请No.2001-096676为优先权,其全部内容在此引用作为参考。
技术领域
本发明涉及具有多个宏电路的半导体装置。特别涉及维持半导体集成电路内传递信号的可靠性的技术。
背景技术
由于近些年半导体制造技术的提高,将多种功能集成于单片中的系统LSI日益受到注目。
图1A为示出现有的系统LSI(即system on chip,单片式系统)的结构示意框图。如图所示,系统LSI具有在同一半导体衬底上形成的多个宏电路A1~A6。所谓“宏电路”是多个半导体元件的集合体,并且是为实现单体的特定功能而构成的电路块。具体讲,在系统LSI中有SRAM(静态随机存取存储器)、DRAM(动态随机存取存储器)、CPU(中央处理单元)等的宏电路。这些宏电路A1~A6通过连接布线互连,通过协同动作而实现系统LSI的功能。
各宏电路的设计方法当然因各宏电路而异,也有一个宏电路由多个设计方法设计的场合。关于这一点利用图1B进行说明。图1B为示出图1A的宏电路A1的内部结构的框图。
如图1B所示,宏电路A1是具有与DRAM相关的功能的DRAM宏电路。DRAM宏电路A1包含有DRAM块DRAM_BLK和测试电路块TEST_BLK。DRAM块DRAM_BLK是设置实现DRAM的存储器功能的电路的区域。而测试电路块TEST_BLK是设置具有用户使用时不需要的在DRAM制造时进行测试所需要的功能的测试电路的区域。
DRAM块DRAM_BLK利用自底向上(bottom-up)法等手工设计方法设计。另一方面,同一宏电路内的测试电路块TEST_BLK,在电路结构上,没有必要必须特别以手工设计方法进行设计。于是,测试电路块TEST_BLK,例如,有时利用采用标准单元等的自动设计方法进行设计。如采用标准单元,可以得到利用RTL寄存器传送级)的电路合成及自动配置布线的版图。结果,比较只采用自底向上法设计DRAM宏电路A1可缩短设计时间。
但是,有时测试电路在进行DRAM测试时需要内部电路块。因此,测试电路块TEST_BLK通常包含电路块生成器。除了设置于测试电路块TEST_BLK内部,电路块生成器也可以利用自动设计方法设计。不过,在利用软件进行自动配置布线时,在作为程序库使用的标准单元中一般不包含延时元件。因此,为生成内部电路块所必需的延时,例如,如图1C所示,由多个反相器2串联的反相延时器实现。于是,在内部电路块的频率低之际,必需的反相器2的数目极大。结果,有时会加大DRAM宏电路的面积。另外,如采用反相器来产生延时,有时延时随电压及加工过程偏差的变化很大,难以进行正确的时钟控制。
另外,各宏电路A1~A6是通过连接布线互连。如图1A所示,在连接布线中间设置有缓冲器3。缓冲器3防止通过连接布线传送的信号波形钝化。在图1A中,在宏电路A2和宏电路A6之间存在一个尺寸很大的宏电路A1。所以,连接宏电路A2和宏电路A6的连接布线不得不远远地绕过宏电路A1。结果,信号在连接布线中传送时发生很大延时,有时系统LSI的动作可靠性恶化。并且同时,由于连接布线必须绕大弯,在连接布线多的系统LSI中,有时会成为版图布局困难的原因。这一点,有人认为如果连接宏电路A2和宏电路A6的连接布线能够在宏电路A1上通过就好了。可是,在此场合,在连接布线中间加入信号波形整形用的缓冲器就困难了。其情况如图2A所示。这是因为宏电路A1没有考虑到要在其本身上面通过的连接布线。因此,有时不能防止信号波形在通过宏电路上时发生钝化。
另外,如在宏电路上配置连接布线,如图2B所示,形成宏电路A1结构所必需的金属布线的区域必须预先做成禁止布线区域。于是,必须将从宏电路上通过的连接布线(下称“宏电路上通过布线”)配置于禁止布线区域以外的区域。于是,与禁止布线区域内的布线密度非常高相对,在其以外的区域,因为只有宏电路上通过布线通过,布线密度很低。就是说,在同一个宏电路内,布线密度疏密不均。于是,有时在金属布线层的制造工序中出现问题。例如,有可能如果针对布线密度密的区域对加工工序进行优化,疏的区域的加工精度就会恶化,而如果针对布线密度疏的区域对加工工序进行优化,密的区域的加工精度就会恶化,
发明概述
根据本发明的一个方面的半导体装置包括:具有第一功能的第一半导体电路;
具有与上述第一功能不同的第二功能的第二半导体电路;以及
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的