[发明专利]柔性基板、半导体器件、摄像装置和放射线摄像系统

说明书

技术领域

本发明涉及柔性基板、半导体器件、摄像装置、放射线摄像装置和放射线摄像系统，特别是涉及医疗用的X射线摄像装置和工业用的非破坏装置等的柔性基板、放射线摄像装置和放射线摄像系统。

另外，在本说明书中，规定X射线、α射线、β射线、γ射线等的电磁波也包括在放射线的范畴内。

背景技术

以往，在放射线摄像装置，特别是在以医疗为目的的X射线摄像装置中，要求X射线动画的图象品位优良，而且，具有薄型大面积的X射线摄像装置。此外，不仅医疗用，工业用非破坏检查设备等也要求薄型且便宜的大面积X射线摄像装置。

作为这样的X射线摄像装置，例如有使光纤板的厚度具有台阶地使得CCD传感器的非受光部分不产生干涉那样大面积化的X射线摄像装置等。

例如，图14示出了以往人们所熟知的X射线摄像装置的概略性的剖面图。图14示出了由使X射线变换成可见光的闪烁体等构成的荧光体3、把用荧光体3进行变换后的可见光导向摄像元件1一侧的光纤等的光纤板2、和把由光纤板2传送过来的可见光变换成电信号的摄像元件1(基板)。

该X射线摄像装置，虽然未画出来，但是由于在相邻的摄像元件1间设置驱动各个摄像元件1并控制来自各个摄像元件1的电信号的读出的控制装置，故光纤板2被形成为对于摄像元件1设置为倾斜。如果使用这样的光纤板2，由于X射线合在一起向控制装置入射，故可以抑制因X射线入射所产生的噪声。

此外，图15示出了另一种构成的X射线摄像装置的现有技术的概略性的斜视图。另外，在图15中，对于那些与图14同样的部分赋予了同一标号。在图15的X射线摄像装置中，采用改变光纤板2的长度，例如以3个摄像元件为一组对每一组都设置台阶的办法，变成为对各个摄像元件1都设置控制装置。但是，由于取决于荧光体的大小，在有些情况下会向设置在位于周边的摄像元件1上的控制装置入射X射线，故为了防止该入射，就必须在摄像元件的周边设置铅等的X射线屏蔽材料。

但是，在图14所示的X射线摄像装置的情况下，难于进行斜向地切断光纤板2的加工，除此之外由于每一批的处理个数少，故价格升高。此外，当设置倾斜时，在光纤板2的各个光纤中光的传送效率变坏，传感器的灵敏度降低。

再有，图示的光纤板是把2×2块的光纤板2粘贴起来的光纤板，倘使用现有的光纤板2，则100×100mm左右的大小是一个界限。而且，若改变光纤的倾斜作成为3×3等，则在各个摄像元件内的像素之内，比起配置在中央的光纤板来，配置在周边的光纤板这一方光的透过率劣化，在从各个摄像元件输出的信号中会产生不均匀。

另一方面，在图15所示的X射线摄像装置中，归因于X射线摄像装置大型化，或者具备铅等的X射线屏蔽材料而重量化。此外，由于各个台阶部分与摄像元件之间的位置对准精度是严格的，故制造工序增多，而且必须具备高精度的位置对准装置。

于是，图16示出了不会降低X射线摄像装置的灵敏度，适合于大型化、重量化、高价位化的问题，在制造工序中的作业性优良的现有技术的X射线摄像装置的模式性的剖面图。

图16所示的X射线摄像装置，示出了作为使X射线变换成可见光等的可检测波长的光的闪烁体的荧光体(波长变换装置)3；由把用荧光体进行变换后的光导向摄像元件1一侧，同时，含有对用荧光体3未变换净尽的X射线进行屏蔽的屏蔽材料的多个光纤构成的光纤板2；把相邻的光纤板2粘接起来的粘接剂9；把光纤板2和摄像元件1粘接起来的透明粘接剂6；把光变换成电信号的摄像元件1；向外部输出来自摄像元件1的电信号的柔性基板4；把柔性基板4和摄像元件1电连起来的突点5；本身为连接柔性基板4的电荷读出装置的印制基板12；保护荧光体3的由铝等构成的保护薄板8；装载摄像元件1的基底基板10；用来保持基底基板10的基底框体11；基底框体所具备的框体盖9；设置在摄像元件1与光纤板2之间的用来保持恒定间隔的衬垫13；使摄像元件1与外气隔绝的密封树脂15。

在本构成中所示的X射线摄像装置，用把装载有控制电路的印制基板12设置在与入射方向相反一侧的基底基板10的背面这一点，解决了在图14和图15的X射线摄像装置中产生的问题。

因此，为了使印制基板12与摄像元件1电连，要使柔性基板4弯曲地通过多个相邻的摄像元件1间进行连接。

另外，图16所示的X射线摄像装置，采用用透明粘接剂6把用粘接剂7使多个光纤板2粘接起来的光纤板和多个摄像元件1粘贴在一起的办法进行制造。