[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，在将基板大致沿水平方向传送并通过多个处理部，在各处理部将处理液供给到基板的表面的传送式的基板处理装置中，其特征在于，在多个处理部中的至少一个处理部的入口部分，设置向基板宽度方向的整个区域膜状地喷出处理液的液膜式的缝隙喷嘴，将防止从该缝隙喷嘴喷出的处理液向入口侧飞散的遮挡部件设置在所述缝隙喷嘴中。

2.如权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，为变更处理液的喷出方向，将所述缝隙喷嘴可绕水平轴转动地支撑。

3.如权利要求1或2所述的基板处理装置，其特征在于，所述遮挡部件被安装在处理液的喷出口附近而可与喷出方向倾斜地交叉，兼作使喷出液向远离入口的方向转向的导向板。

4.如权利要求1、2或3所述的基板处理装置，其特征在于，在所述缝隙喷嘴的喷出口侧，设置从在基板的行进方向和与该行进方向成直角的方向上排列的多个喷射喷嘴向基板的整个表面供给处理液的喷淋组件。

5.如权利要求1、2、3或4所述的基板处理装置，其特征在于，多个处理部包括蚀刻部和水洗部，蚀刻部和水洗部将所述缝隙喷嘴安装于入口部分。

6.如权利要求1、2、3或4所述的基板处理装置，其特征在于，多个处理部包括剥离部和水洗部，剥离部和水洗部将所述缝隙喷嘴安装于入口部分。

7.如权利要求1、2、3或4所述的基板处理装置，其特征在于，多个处理部包括剥离部、置换部和水洗部，剥离部、置换部和水洗部将所述缝隙喷嘴安装于入口部分。