[发明专利]覆晶芯片及覆晶构装基板有效

专利信息
申请号: 02122403.X 申请日: 2002-06-05
公开(公告)号: CN1387256A 公开(公告)日: 2002-12-25
发明(设计)人: 许志行 申请(专利权)人: 威盛电子股份有限公司
主分类号: H01L23/14 分类号: H01L23/14;H01L23/50
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 沙捷,王初
地址: 中国*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 芯片 覆晶构装基板
【说明书】:

技术领域

发明是有关于一种覆晶芯片及覆晶构装基板,且特别是有关于一种具有多个焊垫环的覆晶芯片,以及一种对应于上述覆晶芯片而具有多个凸块垫环的覆晶构装基板。

背景技术

覆晶接合技术(Flip Chip,FC)是一种常见应用于芯片尺寸封装(Chip Scale Package,CSP)的芯片封装技术,其主要是利用面矩阵(Area Array)的排列方式,将芯片(die)的多个焊垫(die pad)设计配置于芯片的主动表面(active surface),即芯片的具有主动组件(activedevice)的一面,并在各个焊垫上分别形成凸块(bump),接着再将芯片上的凸块连接至承载器(carrier)上所对应的接点(contact),使得芯片以翻覆(flip)的方式对应接合至承载器的表面。

由于覆晶接合技术具有缩小封装面积,提高封装密度,以及缩短信号传输路径等优点,使得覆晶接合技术已广泛地应用在芯片封装领域,特别是具有高脚位(High Pin Count)的芯片封装结构,例如以覆晶接合(FC)搭配球格数组(Ball Grid Array,BGA)的覆晶球格数组(FCBGA)的芯片封装型态,或以覆晶接合(FC)搭配针格数组(PinGrid Array,PGA)的芯片封装型态,均能有效地将单颗具有高达数百个焊垫的芯片加以封装。

无论是上述的覆晶球格数组(FCBGA)、覆晶针格数组(FCPGA),或是其它应用到覆晶接合(FC)的芯片封装技术,通常是利用覆晶构装基板(substrate)来作为覆晶接合用的承载器,而覆晶接合用的覆晶构装基板(以下简称基板)主要系由多层图案化导线层及多层绝缘层所相互交错叠合而成,并以多个导电插塞分别贯穿上述的绝缘层,用以电性连接上述的相邻的导线层。此外,基板的顶面更配置有多个凸块垫(bump pad),用以连接芯片上的凸块,而基板的底面则配设有多个焊球垫(ball pad),其分别经由基板的内部线路,而绕线至基板的底面的焊球垫,并可在焊球垫上分别配设焊球(ball)等导电结构,用以连接至下一层级(next level)的电子装置,例如印刷电路板(PrintedCircuit Board,PCB)等。

请参考图1,其为已知的一种覆晶封装结构的局部剖示图。芯片10的主动表面12上系以面矩阵的方式配置有多个焊垫14,而覆晶构装基板20(以下简称基板20)则是由多层图案化的导线层24(如组件标号24a、24b、24c…)以及多层绝缘层26(如组件标号26a、26b、26c)相互交错叠合而成,并利用多个导电插塞(plug)36分别贯穿绝缘层26,用以电性连接导电层24。其中,导电插塞36的种类包括有导通插塞(via)36a及镀通插塞(Plating Through Hole,PTH)36b,两者依照插塞制程的不同而有尺寸上的差异。

请同样参考图1,导线层24的最顶层者(即最接近基板20的顶面21者)系为第一导线层24a,其具有多个凸块垫30,而凸块垫30的位置系分别对应焊垫14的位置,使得焊垫14可经由凸块16而连接至基板20上所对应的凸块垫30,再经由导线层24及导电插塞36所构成的线路,而将芯片10的部分焊垫14扇出(fan out)至芯片10的主动表面12下方以外的区域。另外,基板20更包括有一图案化的防焊层(Solder Mask)28,其覆盖于第一绝缘层26a及第一导线层24a上,并同时暴露出第一导线层24a的多个凸块垫30,用以保护第一导线层24a的其它部分及第一绝缘层26a。此外,基板20的底面22则具有多个焊球垫34,其系用以连接焊球(未绘示)等导电结构,用以连接至下一层级的电子装置。

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