[发明专利]掩模、附有光反射膜的基板、光反射膜的形成方法

说明书

[发明的详细说明]

[发明所属的技术领域]

本发明涉及掩模、附有光反射膜的基板、光反射膜的形成方法、电光器件的制造方法和电光器件，以及电子装置。

更详细地说，涉及用于制造干涉条纹产生得少的附有光反射膜的基板的掩模、使用该掩模的附有光反射膜的基板、光反射膜的形成方法、具有干涉条纹产生得少的附有光反射膜的基板的电光器件以及具有干涉条纹产生得少的附有光反射膜的基板的电子装置。

[现有的技术]

众所周知，从求得薄型化、节省电力等出发，液晶显示器件作为各种电子装置的显示装置正得到广泛应用。这样的液晶显示器件一般是在将液晶封入一对玻璃基板等之间的状态下，用密封材料将周边贴合起来的结构。而且，安装了这种液晶显示器件的电子装置，为了保护液晶显示器件不受来自外部的冲击等，采用了在该液晶显示器件的观察侧，即看到显示的观察者一侧设置保护板的结构。这种保护板通常是由具有透光性的材料，例如透明塑料等构成的板状构件。

但是，将这种保护板的与液晶显示器件相向的面制成完全的平滑面是困难的，往往存在微细的凹凸。因此，在将这种保护板设置在液晶显示器件上时，存在由表面的微细凹凸引起的显示品质显著降低的问题。

作为这种显示品质降低的原因之一，可以举出液晶显示器件的观察侧基板与保护板的间隔相应于保护板表面存在的凹凸而不一致。即，对应于这种间隔的不一致，从液晶显示器件射出的光在透过保护板时产生干涉，其结果是产生干涉条纹。因此，可以推断，由于产生的干涉条纹与显示图像相重叠而引起显示品质下降。

另外，在特开平6-27481号公报中，公开了如图26所示的反射型液晶显示器件400，在特开平11-281972号公报中，公开了如图27所示的反射透射两用型500，为减少干涉条纹的产生，分别设置了高度不同的多个凹凸结构404a、404b(504a、504b)，在其上形成了高分子树脂膜405(505)，再在其上形成了连续的波状反射电极409(509)。

另外，具有这种反射电极的液晶显示器件的制造工序被公开了，例如公开在图28中。首先，如图28(a)所示，在玻璃基板600上全面形成抗蚀剂膜602，其次，如图28(b)所示，经由直径不同的多个圆构成的图形604进行曝光。之后，如图28(c)所示，进行显影，设置具有高度不同的有多个角的凸部606a、606b，进而如图28(d)所示，进行加热，使凸部的角部软化，形成无角的凸部608a、608b。然后，如图28(e)所示，在这些凹凸结构间610充填规定量的高分子树脂620，形成具有波状表面的连续层后，再利用溅射法等层叠方法在高分子树脂膜620上形成连续的波状反射电极624。

[发明所要解决的课题]

但是，特开平6-27481号公报等公开的反射型液晶显示器件及反射透射两用型液晶显示器件，虽然打算用直径不同的多个圆等呈规则的或部分不规则的排列的掩模，利用紫外线曝光和显影，设置高度不同的多个凹凸结构。但是存在涂敷厚度不均匀等现象，严格地调整高度使得能有效地防止光干涉是困难的。另外，由于在高度不同的多个凹凸结构上形成反射电极，所以还发现断线、易短路等问题。此外，还发现公开的附有光反射膜的基板的制造方法存在工序数多，管理项目多这类制造方面的问题。

因此，在特开平6-27481号公报中公开的附有光反射膜的基板不仅难以有效地防止干涉条纹的产生，而且也难以稳定并且有效地制造这种附有光反射膜的基板。

于是，作为本发明的发明者对以上问题专心研究的结果，发现在附有光反射膜的基板的基体材料上设置多个凸部或凹部的同时，借助于实质上不改变该多个凸部或凹部的高度而在平面方向随机排列，可以容易地得到干涉条纹产生得少的附有光反射膜的基板。

即，本发明的目的在于提供可得到干涉条纹产生得少并且容易制造的附有光反射膜的基板的掩模、这种附有光反射膜的基板、这种光反射膜的形成方法、设置有这种附有光反射膜的基板的电光器件、以及具有这种附有光反射膜的基板的电子装置。

[解决课题用的方法]

根据本发明，可以提供用于在有多个点区的基板上形成图形的、具有如下特征的掩模：包括可透过入射光的透光部与实质上不透过光的不透光部，由上述透光部或不透光部形成的图形，以比点区数少的点数为一个单元而形成，同时在该一个单元内不规则地排列，并且含有多个该单元，因而可以解决上述问题。