[发明专利]电解加工方法和动压轴承装置的制造方法及动压轴承装置

权利要求书

1.一种电解加工方法，使电极工具与被加工物留有适当间隙地相对配置，使电解液流动地夹入于所述间隙内，并通过对所述被加工物与电极工具之间进行适当的通电，对所述被加工物的表面电解加工所需形状的凹部，其特征在于，

一边对所述电解液赋予由超声波振动发生装置产生的超声波振动一边进行电解加工。

2.如权利要求1所述的电解加工方法，其特征在于，将由所述超声波振动产生的加振幅度作成15-25μm。

3.如权利要求1所述的电解加工方法，其特征在于，预先将所述超声波振动发生装置安装在所述电极工具上，通过使所述电极工具接近被加工物，以使这些电极工具与被加工物之间的间隙接近由所述超声波振动发生装置赋予电极工具的振幅的状态进行电解加工。

4.如权利要求1所述的电解加工方法，其特征在于，作为所述电解液使用与界面活性剂的混合液。

5.如权利要求1所述的电解加工方法，其特征在于，使所述电解加工用的通电与所述超声波振动用的通电独立地进行。

6.如权利要求5所述的电解加工方法，其特征在于，使所述电解加工用的通电与所述超声波振动用的通电交替地或使它们的两通电中至少一部分重复地进行。

7.一种动压轴承装置的制造方法，是将在利用润滑流体的动压的动压轴承装置中所使用的轴构件或轴承构件的毛坯作为被加工物、在该被加工物上形成动压产生用槽的方法，

使电极工具与所述被加工物留有适当间隙地相对配置，使电解液流动地夹入于所述间隙内，并通过对所述被加工物与电极工具之间进行适当的通电，对所述被加工物的表面电解加工所需形状的动压产生用槽，其特征在于，

一边对所述电解液赋予由超声波振动发生装置产生的超声波振动一边进行电解加工。

8.如权利要求7所述的动压轴承装置的制造方法，其特征在于，将由所述超声波振动发生装置产生的加振幅度作成15-25μm。

9.如权利要求7所述的动压轴承装置的制造方法，其特征在于，预先将所述超声波振动发生装置安装在所述电极工具上，通过使所述电极工具接近被加工物，以使这些电极工具与被加工物之间的间隙接近于由所述超声波振动发生装置赋予电极工具的振幅的状态进行电解加工。

10.如权利要求7所述的动压轴承装置的制造方法，其特征在于，作为所述电解液使用与界面活性剂的混合液。

11.如权利要求7所述的动压轴承装置的制造方法，其特征在于，使所述电解加工用的通电与所述超声波振动用的通电独立地进行。

12.如权利要求11所述的动压轴承装置的制造方法，其特征在于，

使所述电解加工用的通电与所述超声波振动用的通电交替地或使它们的两通电的至少一部分重复地进行。

13.一种动压轴承装置，其特征在于，具有利用权利要求7-权利要求12中任一项所述的动压轴承装置的制造方法所制造的轴构件或轴承构件。