[发明专利]电解加工方法和动压轴承装置的制造方法及动压轴承装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过使电极工具与被加工物夹有电解液地相对配置并通电而进行被加工物的电解加工的电解加工方法和动压轴承装置的制造方法及利用该制造方法制造的动压轴承装置。

背景技术

电解加工是通过将电解熔出集中于被加工物的所需部位进行的，例如图12所示的电解加工装置是人们所知道的以往技术。在图12所示的电解加工装置中，将被加工物4载置在夹有绝缘物2地设于基座1的夹具3上，并使电极工具5接近该被加工物4地相对配置。而且，上述被加工物4与未图示的电解加工用电源的正极(+极)侧连接，电极工具5与负极(-极)侧连接。

另外，蓄积在外部侧的电解液6，利用作为电解液供给装置的泵7通过过滤器8而向上述电极工具5与被加工物4之间的间隙供给，一边使电解液6在电极工具5与被加工物4之间流动一边进行两者间的通电。由此，被加工物4就连续地电化学地熔出、可进行被加工物4的电解加工。

这时，在上述电极工具5上附设有送进装置10，随着被加工物4的加工进行使电极工具5向送入被加工物4侧，而在两者间维持规定的加工间隙(平衡间隙)，其结果，就将使电极工具5的形状翻转的形状形成于被加工物4上。由电解加工所产生的气体由风扇11排向外部。又，在因焦耳热而被升温的电解液中含有各种电解生成物，使用后的电解液12通过离心分离器13被净化后，再供给至上述的电极工具5与被加工物4之间。

但是，在使用这样的一般的电解加工方法进行成批加工的工序中，存在下述的问题。

①相对电极工具的宽度，被加工物的加工宽度有变大的倾向，并且，该加工宽度容易产生误差。

②为了减小加工宽度的误差而减小电极工具与被加工物之间的间隙时，因存在于电解液中的被加工物的电解生成物等的各种粒子而容易产生液体堵塞现象，导致加工不良的情况增多。

③同样，当减小电极工具与被加工物之间的间隙时，由于电解液的流动变得不良，故在加工途中电解液容易产生劣化，在电解液的入口侧的加工量较深，而随着移向出口侧，加工深度逐渐变浅。

④电解液及电解生成物的一部分容易附着在被加工物上。

尤其，当在利用润滑流体的动压的动压轴承装置中的动压产生用槽的槽加工中使用电解加工时，就不能以必需的精度获得对动压特性给予较大影响的动压产生用槽的槽形状，就不能获得良好的动压特性，并且还成为生产率降低的原因。又，在加工后的产品上仍附着电解生成物及电解液的场合，在由动压轴承装置支承的旋转体的种类、例如在硬盘驱动装置(HDD)中，有可能成为化学污染物以至成为不能使用的状态。

因此，本发明目的在于，提供结构简单、能对被加工物进行高精度且有效加工的电解加工方法和动压产生用槽的制造方法。

发明的概要

为了达到上述目的，在技术方案1的电解加工方法中，一边将由超声波振动发生装置发生的超声波振动赋予电解液一边进行电解加工，即使在使电极工具接近被加工物的场合，也使因赋予电解液的超声波振动而从被加工物熔出的电解生成物等的各种粒子圆滑地流动，并维持良好的电解加工。又，在技术方案2的电解加工方法中，是在技术方案1的基础上，通过将由超声波振动发生装置产生的加振幅度作成15-25μm，能实现更良好的电解加工。

又，技术方案3的电解加工方法是，在技术方案1的基础上，预先将超声波振动发生装置安装在上述电极工具上，通过使上述电极工具接近被加工物，从而以将这些电极工具与被加工物之间的间隙接近于由上述超声波振动发生装置赋予电极工具的振幅的状态进行电解加工，由此能一边确保电解液的流动性一边使加工精度提高。

又，技术方案4的电解加工方法是，在技术方案1的基础上，使用与界面活性剂的混合液作为电解液，从被加工物熔出的电解生成物等的各种粒子被电解液中的界面活性剂吸收，而能确保电解液的圆滑的流动。

又，技术方案5的电解加工方法是，在技术方案1的基础上，使电解加工用的通电与超声波振动用的通电独立地进行。又，技术方案6的电解加工方法是，在技术方案5的基础上，使电解加工用的通电与超声波振动用的通电交替地或使它们的各通电的至少一部分重复地进行，通过根据电解加工的状况而适当地切换电解加工用的通电和超声波振动用的通电，而始终获得最佳的加工状态。