[发明专利]药液涂敷方法及其涂敷装置

权利要求书

1.一种药液涂敷方法，向沿一定方向按一定速度行进的基板涂敷药液，其特征在于：

从与所述基板表面相对配置的下滴喷嘴向所述基板表面下滴药液，使用第1药液抑止部件和第2药液抑止部件这两级使向所述基板表面的上流侧流动的所述药液抑止，其中，所述第1药液抑止部件被设置在比所述下滴喷嘴的位置靠近相对于所述基板的行进方向的上流侧位置，所述第2药液抑止部件被设置在比所述第1药液抑止部件更靠近相对于行进方向的上流侧位置。

2.如权利要求1所述的药液涂敷方法，其特征在于，以大致平行并且大致垂直于所述基板的行进方向来设置所述第1药液抑止部件和所述第2药液抑止部件。

3.如权利要求1或2所述的药液涂敷方法，其特征在于，所述第1药液抑止部件与所述基板之间有规定的间隙，通过该间隙来降低在相对于基板的行进方向向上流侧流动的所述药液的弥散。

4.如权利要求3所述的药液涂敷方法，其特征在于，所述第1药液抑止部件与所述第2药液抑止部件对置，有与所述基板的上流侧表面形成的角为锐角的面。

5.如权利要求3或4所述的药液涂敷方法，其特征在于，所述第1药液抑止部件为滚轮。

6.如权利要求5所述的药液涂敷方法，其特征在于，所述第2药液抑止部件为气刀，将从所述气刀喷出的空气吹向所述第1药液抑止部件的对置面来改变空气的方向，使弥散的所述空气的喷出方向集中在所述基板上的宽度方向的大致一直线上，通过所述第1药液抑止部件和所述基板的间隙进行药液抑止，使得流动到上流侧的药液的前沿大致成一直线。

7.一种药液涂敷方法，向沿一定方向按一定速度行进的基板涂敷药液，其特征在于：

从与所述基板表面相对配置的下滴喷嘴向所述基板表面下滴药液，从气刀向空气方向变化部件喷出空气，其中所述的气刀被设置在相对于所述基板的行进方向比所述下滴喷嘴的位置靠近上流侧，其中所述的空气方向变化部件被设置在所述下滴喷嘴和所述气刀之间位置，由所述气刀使空气的方向大致集中在所述基板上的宽度方向的一直线上，通过集中在所述基板上的宽度方向的大致一直线上的空气，阻止药液向所述基板表面的上流侧流动。

8.如权利要求7所述的药液涂敷方法，其特征在于，以大致平行并且大致垂直于所述基板的行进方向来设置所述气刀和所述空气方向变化部件。

9.如权利要求7或8所述的药液涂敷方法，其特征在于，以与所述基板之间具有规定的间隙来配置所述空气方向变化部件，借助于该间隙来降低相对于基板的行进方向流动到上流侧的所述药液的弥散。

10.如权利要求9所述的药液涂敷方法，其特征在于，所述空气方向变化部件为滚轮。

11.一种药液涂敷装置，其特征在于，包括：运送部件，沿一定方向以一定速度运送基板；药液下滴喷嘴，与所述基板表面对置配置；第1药液抑止部件，设置在比所述下滴喷嘴的位置靠近相对于所述基板的行进方向的上流侧位置；以及第2药液抑止部件，设置在比所述第1药液抑止部件更靠近相对于行进方向的上流侧位置。

12.如权利要求11所述的药液涂敷装置，其特征在于，以大致平行并且大致垂直于所述基板的行进方向来设置所述第1药液抑止部件和所述第2药液抑止部件。

13.如权利要求11或12所述的药液涂敷装置，其特征在于，所述第1药液抑止部件与所述基板之间有规定的间隙，通过该间隙来降低流动到上流侧的所述药液的弥散。

14.如权利要求13所述的药液涂敷装置，其特征在于，所述第1药液抑止部件与所述第2药液抑止部件对置，具有与所述基板的上流侧表面形成的角为锐角的面。

15.如权利要求13或14所述的药液涂敷装置，其特征在于，所述第1药液抑止部件为滚轮。

16.如权利要求15所述的药液涂敷装置，其特征在于，所述滚轮由滚轮主体和安装在其两端的凸缘部组成，两凸缘部接触所述行进的基板的两端部，将滚轮设置于上载所述基板的位置。

17.如权利要求16所述的药液涂敷装置，其特征在于，所述滚轮相对于所述滚轮主体可交换所述凸缘部，通过安装期望的凸缘部，能够调整所述滚轮主体和基板的间隙。