[实用新型]溅镀装置

权利要求书

1.一种溅镀装置，包括一本体、一滑动件、一工作台、及至少一靶体，其特征在于：

该本体，形成有至少一密闭容置空间，且该本体设有连通于该容置空间的一抽气装置，及固设于该本体的一致动装置；

该滑动件，连接于该致动装置，同时受其驱动而于该容置空间内滑动，并由该滑动轨迹界定一假想面；

该工作台，具有一台面供固定置放待加工的工件，且沿与该假想面成一特定角度的一枢轴枢设于该滑动件上，而沿该枢轴相对于该滑动件转动；以及

该至少一靶体，与该工作台的台面相隔一段距离地设置于该本体形成有该容置空间的一内侧壁内。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该滑动件上进一步设有一传动装置，以驱动该工作台相对于该滑动件转动。

3.如权利要求1或2所述的溅镀装置，其特征在于：该靶体为两个。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该两靶体具有一受撞击面，该受撞击面相对该工作台的台面倾斜一角度。

5.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该靶体以一调整固定装置固定于该本体形成有该容置空间的该内侧壁。

6.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该滑动件为固定于该本体形成有该容置空间内侧壁的导轨所引导滑动。

7.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该工作台的台面平行于水平面，供置放工件。

8.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该工作台的台面垂直于水平面，且该工作台的台面设有槽道，供吊挂工件于其上。

9.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该本体还具有数个闸门，将该容置空间分隔为数个区间，且该滑动件供滑动行经各该区间。

10.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该致动装置进一步包括一第一马达和一导螺杆。

11.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该转动装置进一步包括一第二马达和一驱动轮。