[实用新型]一种适用于真空微蒸发镀的装置

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种用于向金刚石表面镀覆金属的适用于真空微蒸发镀的装置。

背景技术：

目前用于向金刚石表面镀覆金属的装置多为真空微蒸发镀设备。该设备主要由真空泵，与所述真空泵通过管道相连通的扩散泵，以及通过带有阀门的管道与所述扩散泵相连通的镀覆室组成，这种真空微蒸发镀设备在使用时虽然实现向金刚石表面镀覆金属的目的而深受广大用户的欢迎，但也存在有不足之处，如当所述真空泵或扩散泵出现故障，或由于其它原因而造成停电时，空气将通过管道进入所述镀覆室内，而镀覆室内工作时的温度在600℃-1000℃之间，这样将造成昂贵的金刚石被氧化，给用户带来巨大的经济损失。

实用新型目的：

本实用新型的目的就在于针对上述现有技术所存在的不足而提供一种适用于真空微蒸发镀的装置。

为达到上述目的，本实用新型可采取下述技术方案实现：

本实用新型包括真空泵，与所述真空泵通过管道相连通的扩散泵，以及通过带有阀门的管道与所述扩散泵相连通的镀覆室，在位于所述阀门与所述镀覆室之间的管道上设置有一用于向所述镀覆室内充以惰性气体的充气阀。

本实用新型的优点就在于通过在所述阀门与所述镀覆室之间的管道上设置有一用于向所述镀覆室内充以惰性气体的充气阀，使得当出现意外停电或所述真空泵出现故障停止工作时，操作人员可迅速打开所述充气阀向镀覆室内充以惰性气体将正在镀覆的金刚石与空气隔绝开，杜绝了金刚石被氧化现象的发生，从而避免因上述原因而给用户造成经济损失。同时，由于在所述镀覆室内充以惰性气体而使得镀覆金刚石的工作得以继续进行。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意视图。

具体实施方式：

如图所示，本实用新型包括真空泵1，与所述真空泵1通过管道2相连通的扩散泵3，以及通过带有阀门4的管道5与所述扩散泵3相连通的镀覆室6，在位于所述阀门4与所述镀覆室6之间的管道5上设置有一用于向所述镀覆室6内充以惰性气体的充气阀7。