[发明专利]电渗透泵和微通道

权利要求书

1.一种装置，它包括：

发热层，它包括多个发热器件；以及

第一冷却层，它包括：

微通道，它允许流体流过该微通道；以及

多个电渗透泵，它们便利于所述流体流过所述微通道；

其中所述第一冷却层与所述发热层结合。

2.如权利要求1所述的装置，其中所述第一冷却层包括工作层 和衬底层；以及

所述工作层包括所述电渗透泵，以及

所述微通道穿过所述发热层和所述衬底层。

3.如权利要求2所述的装置，其中所述第一冷却层包括至少一 个热传感器，用以检测所述发热层的至少一部分的温度；并且所述热 传感器能够向所述电渗透泵提供热信号，以便于控制流体通过所述微 通道的流量。

4.如权利要求1所述的装置，其中所述微通道包括至少一个出 口和至少一个入口。

5.如权利要求1所述的装置，其中所述多个电渗透泵能够单独 地接通和断开；并且

所述多个电渗透泵能够基本上控制所述流体通过所述微通道的 流量。

6.如权利要求5所述的装置，其中所述多个电渗透泵能够以多 种串联或并联组合的方式连接。

7.如权利要求1所述的装置，其中所述多个电渗透泵能够以这 样的方式被逐一地接通，以便获得比单一电渗透泵更高的流体流率。

8.如权利要求7所述的装置，其中所述微通道包括：

多个非交叉的微通道；以及

用于连接至少两个所述非交叉微通道的至少一个交叉通道。

9.如权利要求8所述的装置，其中所述多个电渗透泵能够逐一 地被接通，以便引导来自第一非交叉微通道的流体流过所述交叉通道 并流入第二非交叉微通道。

10.如权利要求8所述的装置，其中所述多个电渗透泵能够调节 通过至少一个交叉通道的流体的流量。

11.如权利要求1所述的装置，其中所述发热层具有上表面和下 表面；

所述发热器件位于所述发热层中，以便充分地接近所述上表面； 以及

所述第一冷却层与所述下表面结合。

12.如权利要求11所述的装置，其中还包括第二冷却层，所述 第二冷却层与所述发热层的所述上表面结合；并且其中所述第一冷却 层与所述发热层的所述下表面结合。

13.如权利要求12所述的装置，其中所述发热层、所述第一冷 却层和所述第二冷却层是利用不同的硅晶片制造的；并且利用标准的 接合技术把所述发热层、所述第一冷却层和所述第二冷却层结合在一 起。

14.如权利要求13所述的装置，其中还包括电气端口层，所述 电气端口层以便于在所述装置和所述装置外的装置之间的传输电信 号；

其中所述发热层包括多个电器件；并且

其中所述第一冷却层包括：

顶部，它与所述发热层的所述下表面结合；

底部，它与所述电气端口结合；以及

多个通孔，它们便于电信号在所述电器件和所述电气端口之间的 传输。

15.如权利要求13所述的装置，其中所述流体包括水。

16.一种系统，它包括：

发热层，它具有顶部、底部并包括多个发热器件；

第一冷却层，它与所述发热层的底部结合；以及

第二冷却层，它与所述衬底和所述发热层的顶部结合；

其中所述第一和第二冷却层各自包括：

微通道，它允许流体流过该微通道；以及

多个电渗透泵，它们便于所述流体流过相应的微通道。

17.如权利要求16所述的系统，其中所述电渗透泵能够促进所 述流体中的化学反应；

所述系统还包括重组器，所述重组器至少部分地促进所述流体的 逆化学反应。