[发明专利]图案检视中偶生缺陷的验证

权利要求书

1.一种用于验证电路图案中缺陷的方法，其特征是包含：

在自动化检视部件处识别一批连续的电路的候选缺陷之后，将多个类 似的电路图案供应至缺陷验证部件；

将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；

回应于给定候选缺陷中的该非实际缺陷在至少两个电路图案上实质 对应的位置的重现而标记候选缺陷中的该非实际缺陷；

储存包含已标记候选缺陷的已标记非缺陷数据文件；

使用该已标记非缺陷数据文件来更新候选缺陷档案以记录重现的该 非实际缺陷；

根据该候选缺陷档案将该非实际缺陷的候选缺陷标记从先前验证的 电路图案应用到目前验证的电路图案上，以避免验证重现的该非实际缺陷 ；以及

修复可修复的该实际缺陷或舍弃包含非可修复的该实际缺陷的电路 图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征是该非实际缺陷识别包含误检 测与非缺陷。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征是该标记进一步响应于验证时 间间隔参数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征是该验证时间间隔参数包含在 少于预定时间间隔内验证候选缺陷。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征是该标记进一步响应于缺陷类 型参数。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征是该方法进一步回应于缺陷类 型参数。

7.一种用于验证电路图案中之缺陷的缺陷验证系统，其特征是包含：

缺陷验证部件，在自动化检视部件处识别一批连续的电路的候选缺陷 之后，该缺陷验证部件接收多个类似的电路图案，于该缺陷验证部件处将 选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；

候选缺陷标记器，其至少部分地响应于给定候选缺陷中的该非实际缺 陷在至少两个电路图案上实质对应的位置的重现而标记候选缺陷中的该 非实际缺陷；

标记器数据产生器储存包含已标记候选缺陷的已标记非缺陷数据文 件；以及

候选缺陷档案，其可经使用该已标记非缺陷数据文件来更新以记录重 现的该非实际缺陷；

其中，该缺陷验证部件根据该候选缺陷档案可操作以将该非实际缺陷 的候选缺陷标记从先前验证的电路图案应用到目前验证的电路图案上，且 该缺陷验证部件可操作以避免验证重现的该非实际缺陷及包含修复台用 于修复可修复的该实际缺陷。

8.根据权利要求7所述的缺陷验证系统，其特征是该非实际缺陷识别 包含误检测与非缺陷。

9.根据权利要求7所述的缺陷验证系统，其特征是该候选缺陷标记器 可操作以进一步响应于验证时间间隔参数。

10.根据权利要求7所述的缺陷验证系统，其特征是该候选缺陷标记 器可操作以进一步响应于缺陷类型参数。

11.一种电路制造方法，其特征是包含：

在电路基板上形成电路图案的一部分；

自动检视电路图案以识别一批连续的电路的候选缺陷；

在自动识别候选缺陷之后，将多个类似的电路图案供应至缺陷验证部 件；

将选定的候选缺陷验证为实际缺陷与非实际缺陷之一；

回应于给定候选缺陷中的该非实际缺陷在至少两个电路图案上实质 对应的位置的重现而标记候选缺陷中的该非实际缺陷；

储存包含已标记候选缺陷的已标记非缺陷数据文件；

使用该已标记非缺陷数据文件来更新候选缺陷档案以记录重现的该 非实际缺陷；

根据该候选缺陷档案将该非实际缺陷的候选缺陷标记从先前验证的 电路图案应用到目前验证的电路图案上，以避免验证重现的该非实际缺陷 ；以及

修复可修复的该实际缺陷或舍弃包含非可修复的该实际缺陷的电路 图案。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征是该非实际缺陷识别包含 误检测与非缺陷。

13.根据权利要求11所述的方法，其特征是该标记进一步响应于验 证时间间隔参数。