[发明专利]图案检视中偶生缺陷的验证

说明书

技术领域

本发明涉及用于对诸如电路之类的图案进行自动化光学检视的系统 与方法，更具体的说，是涉及用于减少在检视期间所检测到的候选缺陷数 量的系统与方法。

背景技术

电路(例如印刷电路板、互连装置与平板显示器)的制造通常包括自动 化光学检视操作。自动化光学检视通常识别一系列的候选缺陷，包括实际 缺陷与虚假缺陷。在自动化光学检视之后，将包含电路图案的面板供应至 验证台，于此处评估候选缺陷，然后将其识别为实际缺陷或为虚假缺陷。 如有可能，将修复实际缺陷。

虚假缺陷包括，例如，随机虚假缺陷与重现虚假缺陷。随机虚假缺陷 包括，例如，灰尘与氧化。重现虚假缺陷包括，例如，贯穿一批受检视的 图案而重复的几何图案不规则性。尽管重现虚假缺陷偏离理想图案而被检 测为缺陷，但其偏差不足以被归类为需要后续修复的实际缺陷。

在手动缺陷验证期间，将许多的候选缺陷快速地归类为虚假缺陷，例 如，几何形状偏差。在手动验证期间，其它候选缺陷需要额外的时间，以 便决定其是否是随机缺陷或重现缺陷。某些随机缺陷，例如短路，甚至需 要更多的额外时间来完成缺陷修复。

发明内容

本发明希望提供一种用于验证图案中的候选缺陷改进的方法，例如， 包含设置于基板面板上电路部分的图案。

本发明一方面是关于用于评估候选缺陷的系统与方法，其避免在缺陷 验证操作期间评估重现虚假缺陷。

本发明另一方面是关于记录虚假缺陷的位置以及记录用于评估候选 缺陷的时间间隔中的至少一项。在验证后续图案的候选缺陷期间使用已记 录的信息，以避免对重现虚假缺陷进行不必要的评估。

本发明另一方面是关于一种用于制造电路的方法，其中将电路之一部 分形成于基板上，并对该基板进行自动光学检视。评估候选缺陷，以决定 其是实际缺陷还是虚假缺陷。该评估操作避免对多个电路基板中重现的虚 假缺陷进行评估。

根据本发明之一具体实施例，因而提供一种用于验证电路图案中缺陷 的方法，其包括在自动化检视部件处检视多个类似的电路图案以检测出候 选缺陷之后将上述这些电路图案供应至缺陷验证部件；指示候选缺陷的位 置；以及在该缺陷验证部件处评估至少部分所指示的位置，以决定候选缺 陷是否是实际缺陷；以及避免评估至少一个重现虚假缺陷。在制造印刷电 路板与其它电路期间，将此方法用作检视操作的部分。

根据本发明之另一具体实施例，因而提供一种用于检视电路中缺陷的 系统，该系统包括：至少一个自动化检视设备，其可操作以自动检视电路 基板中的缺陷并指示候选缺陷在基板上的位置；重现缺陷标记器，其可操 作以接收多个电路候选缺陷的指示，并且标记在多个电路中重现的候选缺 陷位置上；以及至少一个验证设备，其接收未被标记为重现候选缺陷的候 选缺陷的上述这些指示。

附图说明

详读上文中详细说明并参照附图将可更明白本发明，其中：

图1是根据本发明一具体实施例说明用于检视电路基板中缺陷的系统 的简化方框图；

图2是根据本发明之一具体实施例用于验证缺陷的方法的简化流程 图；

图3是用于产生图2所示方法中所用的虚假缺陷屏蔽方法的简化流程 图；以及

图4是说明图2所示方法的操作的简化图形。

【主要元件标记说明】

10    系统

12    电路基板

14    自动化光学检视(AOI)系统

15    候选缺陷档案

16    验证设备

18    已受AOI检视的电路

20    缺陷服务器

22    缺陷验证档案

24    已标记的候选缺陷服务器

26    标记器数据产生器

28    已标记非缺陷数据文件

30    已更新的候选缺陷档案

40    方法

50    方法

60    图像参考

62    所获取之图像

64    所获取之图像

66    所获取之图像

72    候选缺陷档案

74    候选缺陷档案