[发明专利]基板保持结构

权利要求书

1.一种基板保持结构，其相对于保持面(1)在分散的多个部位对基板(D)进行平面承接，从而在确保平坦度的同时进行保持，其特征在于：

在上述保持面(1)上分散地凹入设置有多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央处、朝向基板(D)突出地安装有比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使该固定板(3)及平面承接板(4)形成一体化，通过使这些分散的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上而以平坦状进行平面承接并进行保持，同时，将上述空隙部(2)作为被一体化的固定板(3)及平面承接板(4)的弹性变形的逃逸空间加以利用。

2.根据权利要求1所述的基板保持结构，其特征在于：在上述固定板(3)中向固定板厚度方向穿设有贯通孔(3a)，从该贯通孔(3a)的内部沿着上述固定板(3)的至少基板侧表面一体形成平面承接板(4)，使该平面承接板(4)的基板侧层叠部(4a)的压缩变形通过上述贯通孔(3a)而游动到相反侧(4b)。

3.根据权利要求1或2所述的基板保持结构，其特征在于：在上述平面承接板(4)的表面上设置有粘结部(4c)。