[发明专利]基板保持结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板保持结构，例如在液晶显示器(LCD)或等离子显示器(PDP)等的平板显示器的制造过程中，用于包括粘结保持CF玻璃或TFT玻璃等的玻璃制基板或合成树脂制基板而贴合的基板贴合机的基板组装装置、或搬送基板的基板搬送装置等。

具体涉及一种相对于保持面在分散的多个部位对基板进行平面承接(面受けする)从而确保平坦度并加以保持的基板保持结构。

背景技术

以往，作为这种基板保持结构，在加压板和工作台保持面上分别设置多个开口，在这些开口内分别具备旋转用致动器和上下驱动用致动器，并在从各旋转用致动器延伸的旋转轴的前端上安装粘结部件，在开口内由上下驱动用致动器的作动移动各粘结部件而露出，并与基板接触而进行粘结保持，在该保持状态下边进行对位边进行贴合，使粘结部件向各开口内进行后退时，相对于基板面由旋转用致动器拧粘结部件的同时、或者拧完后由上下驱动用致动器进行后退，从基板剥下粘结部件。(例如，参照专利文献1)。

【专利文献1】：日本特开2003-273508号公报(第3-5页、图1-5)

然而，在这种以往的基板保持结构中，通过在基板上使多个粘结部件接触而以平坦状平面承接并保持，从而进行两个基板的贴合，但是，在该进行平面承接的保持面侧所要求的平面度，即使是一边超过例如1000mm的大型的基板也处在±数十μm的范围内。

对此，作为平面承接的粘结部件的材料，为了实行确切的粘结，主要使用橡胶那样的弹性材料，但是，该橡胶的尺寸精度含糊地来讲为±数百μm。

因此，作为平面承接的粘结部件的材料使用橡胶时，在平面承接基板的保持面侧中，仅各橡胶的配置部分成为数百μm的凹凸，不能达到所要求的平面度(±数十μm)，其结果，存在不能进行高精度基板贴合的问题。

而且，有时候发生厚度薄的粘结部件不与基板接触的情况，因此，存在粘结力不够而导致基板位置偏移或掉落的忧虑。

发明内容

本发明中技术方案1所述的发明，其目的在于，作为弹性材料即使使用橡胶也能达到所要求的保持面侧的平面度。

技术方案2所述的发明，在技术方案1所述的发明的目的的基础上，其目的在于，提高由平面承接板的纵向的弹性变形的仿形性。

技术方案3所述的发明，在技术方案1或2所述的发明的目的的基础上，其目的在于，确切地防止因粘结力不够而导致基板位置偏移或掉落。

为了达到上述目的，本发明中技术方案1所述的发明，其特征在于，在保持面上分散凹入设置多个空隙部，将这些空隙部的开口分别用可弹性变形的固定板覆盖，在各固定板的大致中央，朝向基板突出而安装比上述空隙部的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板，使该固定板及平面承接板成为一体，使这些分散的平面承接板分别抵接在基板上并以平坦状平面承接及保持，同时，将上述空隙部作为被一体化的固定板及平面承接板的弹性变形的逃逸空间加以利用。

技术方案2所述的发明，在技术方案1所述的发明的构成的基础上，其特征在于，在上述固定板中穿设贯通孔，从该贯通孔的内部沿着上述固定板的至少基板侧表面一体形成平面承接板，使该平面承接板的基板侧层叠部的压缩变形通过上述贯通孔游动到相反侧。

技术方案3所述的发明，在技术方案1或2所述的发明的目的的基础上，其目的在于，确切地防止因粘结力不够而导致基板位置偏移或掉落。

本发明中技术方案1所述的发明，在保持面上分散凹入设置多个空隙部，将这些空隙部的开口分别用固定板覆盖，在各固定板的大致中央，朝向基板突出而安装比上述空隙部的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板，使这两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板分别抵接在基板上并以平坦状平面承接及保持，从而在由弹性材料构成的平面承接板的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板与基板抵接，其固定板或该平面承接板朝向空隙部弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部，由此，厚度尺寸大的平面承接板向空隙部侧沉入，从而与其他的平面承接板形成平坦化。

因此，作为弹性材料即使使用橡胶也能达到所要求的保持面侧的平面度。

其结果，平面承接基板的保持面侧中，只有各橡胶的配置部分没有成为数百μm的凹凸，从而可以进行高精度基板贴合。