[发明专利]具有标线器平台安全结构的方法及其装置

权利要求书

1.一种光微影装置，其特征在于，包括：

一标线器平台，其用以支撑一标线器并能够在x-y-z方向中移动所述标线器；以及

一光学平台，其包含：一固定遮蔽单元，其经安置以使在所述光学平台内所反射的光成形，一或多个光学镜面，其用以将自所述标线器反射的光引导至一晶圆基板上；及

一安全结构，所述安全结构与所述固定遮蔽单元连接且移动所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。

2.如权利要求1所述的光微影装置，其特征在于，若所述标线器平台的一移位等于或超过一临限值，则所述安全结构移动所述光学平台的所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。

3.如权利要求1所述的光微影装置，其特征在于，所述安全结构包含一支架结构，当所述标线器平台在所述支架结构上推动时，所述支架结构移动所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。

4.如权利要求3所述的光微影装置，其特征在于，所述安全结构还包含一用以吸收所述支架结构的推动力的弹簧。

5.如权利要求3所述的光微影装置，其特征在于，所述安全结构还包含一用以调整所述固定遮蔽单元的一中性位置的调整螺丝。

6.如权利要求3所述的光微影装置，其特征在于，所述支架结构包含一磁化金属。

7.如权利要求6所述的光微影装置，其特征在于，所述标线器平台包含一用以与所述磁化金属支架结构建立介面连接的金属触点。

8.一种光微影方法，其特征在于，包括：

在一标线器平台上安装一标线器；

向一光学平台移动所述标线器平台；以及

为了防止所述光学平台的一固定遮蔽单元与所述标线器平台碰撞，若所述标线器平台超过一临限移位，则触发一安全结构。

9.如权利要求8所述的光微影方法，其特征在于，触发所述安全结构的步骤包括推动所述光学平台的所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。

10.如权利要求8所述的光微影方法，其特征在于，触发所述安全结构的步骤包括吸收一借由使所述标线器平台与所述安全结构的一支架结构接触而引起的力。

11.如权利要求10所述的光微影方法，其特征在于，所述临限移位值大于或等于所述支架结构与所述标线器平台之间的一间隙距离。

12.如权利要求11所述的光微影方法，其特征在于，若所述标线器平台在一垂直向下方向中移动超过所述临限移位，则触发所述安全结构。

13.一种光微影工具，其特征在于，包括：

一远紫外线光源；

一具有一标线器的标线器平台，所述标线器平台能够在一垂直方向中移动，所述标线器能够反射来自所述远紫外线光源的光；

一固定遮蔽单元，其用以使自所述标线器平台反射的光成形；

投影光学系统，其用以将来自所述固定遮蔽单元的成形光引导至一晶圆上；以及

安全结构，所述安全结构与所述固定遮蔽单元连接且移动所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台，以至少防止所述固定遮蔽单元与所述标线器平台或标线器碰撞。

14.如权利要求13所述的光微影工具，其特征在于，若所述标线器平台的所述垂直方向移位超过一移位临限值，则所述安全结构被触发并移动所述固定遮蔽单元离开所述标线器平台。

15.如权利要求13所述的光微影工具，其特征在于，还包括：

一可调整的安装台，其用以支撑所述固定遮蔽单元；以及

一支架结构，其作为所述安全结构的一部分而附着至所述可调整的安装台，其中若所述安全结构被触发，则所述支架结构在所述可调整的安装台上推动。

16.如权利要求15所述的光微影工具，其特征在于，还包括：

一吸收机构，其与所述可调整的安装台连接并用以吸收借由所述支架结构而引起的来自所述可调整的安装台的力，使得所述固定遮蔽单元能够移动离开所述标线器平台。