[发明专利]追踪方法及设备无效
申请号: | 200580035332.2 | 申请日: | 2005-10-13 |
公开(公告)号: | CN101052920A | 公开(公告)日: | 2007-10-10 |
发明(设计)人: | 尾崎多可雄;冈崎洋二 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 张成新 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 追踪 方法 设备 | ||
1.一种使用空间光学调制装置的追踪方法,所述空间光学调制装置由以两维方式设置于其上的许多追踪元件构成,用以根据依据追踪信息传送的控制信号调制输入光,其中通过将所述控制信号传送到所述空间光学调制装置的所述追踪元件实施所述调制、并在预定的扫描方向上相对于追踪面移动所述空间光学调制装置来进行追踪,其中:
所述空间光学调制装置在所述扫描方向上被分成多个区块;以及
用于各所述多个区块的所述控制信号被并行传送至所述多个区块。
2.根据权利要求1所述的追踪方法,其中,通过由各所述区块独立实施所述调制、并控制由各所述区块独立实施的所述调制的时序和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度控制在所述追踪面上与各所述区块相对应的各追踪区的布置。
3.根据权利要求2所述的追踪方法,其中,所述追踪首先由设置在下游的所述区块来执行、接着由在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块来执行。
4.根据权利要求2所述的追踪方法,其中,由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得与设置在下游的所述区块相对应的追踪区和与在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块相对应的所述追踪区或所述多个追踪区互相重叠。
5.根据权利要求2所述的追踪方法,其中,由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得与设置在上游的所述区块或所述多个区块相对应的所述追踪区或所述多个追踪区中的追踪点设置在沿所述扫描方向布置在与在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在下游的所述区块相对应的所述追踪区内的追踪点之间。
6.根据权利要求5所述的追踪方法,其中,由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得沿所述扫描方向以规则间隔设置与各所述区块相对应的各所述追踪区中的追踪点。
7.根据权利要求1所述的追踪方法,其中:
各所述区块被进一步再分成多个分段;并且
所述控制信号被顺序传送到各所述区块中的各所述分段,由各所述分段在完成所述控制信号的各传送时顺序实施所述调制。
8.根据权利要求7所述的追踪方法,其中,通过控制各所述区块中的所述分段中的调制时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度控制在所述追踪面上与各所述区块中的各所述分段相对应的各分段追踪区的布置。
9.根据权利要求8所述的追踪方法,其中,所述追踪首先由设置在下游的所述区块中的分段执行、接着由在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块中的分段执行。
10.根据权利要求8所述的追踪方法,其中,各所述区块中的所述分段中的调制时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得与设置在下游的所述区块中的所述分段相对应的分段追踪区和与在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块中的所述分段相对应的分段追踪区互相重叠。
11.根据权利要求8所述的追踪方法,其中,各所述区块中的所述分段中的调制时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得与设置在上游的所述区块或所述多个区块中的所述分段相对应的所述分段追踪区中的追踪点被设置在沿所述扫描方向布置在与在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在下游的所述区块中的所述分段相对应的所述分段追踪区中的追踪点之间。
12.根据权利要求11所述的追踪方法,其中,各所述区块中的所述分段中的调制时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度受到控制,使得沿所述扫描方向以规则间隔设置与各所述区块中的各所述分段相对应的各所述分段追踪区中的追踪点。
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