[发明专利]追踪方法及设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种追踪方法和设备，其中通过在预定的扫描方向上相对于追踪面移动空间光学调制装置来进行追踪，所述空间光学调制装置包括用于根据依据追踪信息所传送的控制信号调制输入光的许多追踪元件。

背景技术

已知各种类型的追踪装置，其中根据图像数据在追踪面上产生预期的两维图案。

作为这种类型的追踪装置，例如，日本未审查的专利公开出版物第2004-233718号中提出使用空间调制装置(例如，数字微镜装置(DMD)或类似装置)的用于通过根据图像数据调制光束来执行光刻加工的各种类型的光刻机。DMD由许多极小的微镜构成，其中所述微镜以两维形式(L行×M列)布置在由硅或类似材料(举例而言)制成的半导体基板上所形成的存储单元(SRAM阵列)上，通过控制存储单元中所储存的电荷所提供的静电力使微镜倾斜来改变微镜的反射面的角度。通过在预定方向上沿着曝光面扫描DMD执行光刻加工。

此处，在上述的DMD中，图像数据首先被传送到SRAM阵列，接着重置各微镜，即，各微镜根据写入SRAM阵列中的图像数据的内容(“0”或“1”)倾斜预定角度(“打开”或“关闭”)，从而将光线反射到不同的方向上。

然而，迄今为止，DMD由所述方法驱动，其中图像数据被顺序传送到SRAM阵列并以逐行为基础写入所述SRAM阵列，当所有行的图像数据均传送到SRAM阵列之后实施重置操作。这需要延长时间来传送图像数据，从而对于光刻加工造成调制速度慢并延长总时间。进一步而言，由于调制速度慢，因此已难于进行高分辨率的光刻加工。

考虑到上述情况，本发明的一个目的是提供使空间光学调制装置可执行快速调制的追踪方法和设备。

发明内容

本发明的第一追踪方法为一种使用空间光学调制装置的追踪方法，所述空间光学调制装置由以两维方式设置于其上的许多追踪元件构成，用以根据依据追踪信息传送的控制信号调制输入光，其中通过将所述控制信号传送到所述空间光学调制装置的所述追踪元件实施所述调制、并在预定的扫描方向上相对于追踪面移动所述空间光学调制装置来进行追踪，其中：

所述空间光学调制装置在所述扫描方向上被分成多个区块；以及

用于所述多个区块中的每个区块的所述控制信号并行传送至所述多个区块。

在上述的追踪方法中，通过由各所述区块独立实施所述调制、并控制由各所述区块独立实施所述调制的时序和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度，可以控制在所述追踪面上对应于各所述区块的各追踪区的布置。

进一步而言，所述追踪可以首先由设置在所述扫描方向下游的所述区块来执行、接着由相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块来执行。

更进一步，由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度可以受到控制，使得对应于设置在下游的所述区块的追踪区与对应于在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块的所述追踪区或所述多个追踪区互相重叠。

进一步而言，由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度可以受到控制，使得对应于设置在上游的所述区块或所述多个区块的所述追踪区或所述多个追踪区中的追踪点设置在沿所述扫描方向布置在与在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在下游的所述区块相对应的所述追踪区内的追踪点之间。

更进一步，由各所述区块独立实施的所述调制的时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度可以受到控制，使得沿所述扫描方向以规则间隔设置与各所述区块相对应的各所述追踪区中的追踪点。

进一步而言，各所述区块可以进一步再分成多个分段，所述控制信号可以被顺序传送到各所述区块中的各所述分段，可以由各所述分段在完成所述控制信号的各传送时顺序实施所述调制。

更进一步，通过控制各所述区块中的所述分段中的调制时序、和/或所述空间光学调制装置在所述扫描方向上的所述相对移动速度可以控制在所述追踪面上与各所述区块中的各所述分段相对应的各分段追踪区的布置。

进一步而言，所述追踪可以首先由设置在下游的所述区块中的分段执行、接着由在所述扫描方向上相对于所述追踪面设置在上游的所述区块或所述多个区块中的分段执行。