[发明专利]检查用光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种检查用光学装置，其特征在于，

是向包含物镜和通过该物镜对被拍物进行摄像的摄像元件的检查对象、投影作为对所述检查对象配置在规定位置的检查用的被拍物的规定图案的光学装置，

具有：

与所述物镜对向配置、并且形成所述图案的测试图；

从所述检查对象来看从所述测试图的背后侧向所述测试图照射光的光源；

以及设置在所述测试图和所述物镜之间的物体距离变换透镜，

所述物体距离变换透镜，为了将来自所述测试图的光变换为等同于比所述测试图更远处的光，将来自所述测试图的各同族光束分别呈放射状射出，同时射出各同族光束，使得各同族光束的由该物体距离变换透镜本身规定的主光线互相会聚，

所述测试图配置在比所述规定位置更靠近所述检查对象的位置上。

2.一种检查用光学装置，其特征在于，

是向包含物镜的检查对象照射光的光学装置，

具有：

光源；

被所述光源的光照射的被投影物；

以及使来自所述被投影物的所述光源的光透过、并照射到所述物镜上的物体距离变换透镜，

所述物体距离变换透镜，为了将来自所述被投影物的光变换为等同于比上述被投影物更远处的光，将来自所述被投影物的各同族光束分别呈放射状射出，同时射出各同族光束，使得各同族光束的由该物体距离变换透镜本身规定的主光线互相会聚。

3.一种检查用光学装置，其特征在于，

是向包含物镜的检查对象照射光的光学装置，

具有：

光源；

被所述光源的光照射的被投影物；

以及使来自所述被投影物的所述光源的光透过、并照射到所述物镜上的物体距离变换透镜，

配置所述被投影物，使得所述物体距离变换透镜侧的端部位于比所述物体距离变换透镜的所述被投影物侧的焦点更靠近所述物体距离变换透镜侧，

设定所述物体距离变换透镜的射出光瞳位置，使其比该物体距离变换透镜的所述物镜侧的透镜端更靠近外侧。

4.如权利要求3中所述的检查用光学装置，其特征在于，

设定所述物体距离变换透镜的射出光瞳位置，使其与所述物镜的入射光瞳位置一致。

5.如权利要求3或4中所述的检查用光学装置，其特征在于，

设定所述物镜的所述物体距离变换透镜侧的主点，使其位于比所述物体距离变换透镜的所述物镜侧的焦点更靠近所述物体距离变换透镜侧。

6.如权利要求3～5中任一项所述的检查用光学装置，其特征在于，

设置所述被投影物，使其能够在所述被投影物侧的焦点和所述物体距离变换透镜之间移动。

7.如权利要求3～6中任一项所述的检查用光学装置，其特征在于，

还具有能够以与所述光源的光路并列的轴为中心来旋转的旋转体，

沿着所述旋转体的圆周方向配置多个所述被投影物，

随着所述旋转体的旋转，从而切换插入所述光路中的被投影物。

8.一种检查装置，其特征在于，

具有：

保持包含物镜的检查对象的保持部；

光源；

被所述光源的光照射的被投影物；

以及使来自所述被投影物的所述光源的光透过、并照射到所述物镜上的物体距离变换透镜，

配置所述被投影物，使得所述物体距离变换透镜侧的端部位于比所述物体距离变换透镜的所述被投影物侧的焦点更靠近所述物体距离变换透镜侧，

设定所述物体距离变换透镜的射出光瞳位置，使其比该物体距离变换透镜的所述物镜侧的透镜端更靠近外侧，同时设定得使其与所述物镜的入射光瞳位置一致。

9.一种检查方法，其特征在于，

是向包含物镜的检查对象照射来自被投影物的光、并进行所述检查对象的检查的方法，

配置使来自所述被投影物的光向所述物镜侧透过的透镜、即射出光瞳位置设定在比所述物镜侧的透镜端更外侧的物体距离变换透镜，使得所述被投影物的所述物体距离变换透镜侧的端部位于比所述物体距离变换透镜的所述被投影物侧的焦点更靠近所述物体距离变换透镜侧的位置。