[发明专利]检查用光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种对摄像装置等检查对象照射规定图案的光的光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法。

背景技术

已知有一种检查装置和该检查装置利用的光学装置，它利用来自光源的光向照相机投射测试图的图案，通过是否正确地对该图案进行摄像，来进行照相机的分辨率等的各种检查。

一般，在这样的检查装置中，假设并设定照相机和测试图之间的距离为照相机实际使用的状态，例如设定为300mm～2000mm。另外，测试图也是利用比较大的、例如1～2m的正方形的测试图。因此，检查装置需要很大的空间。

另一方面，当检查照相机的自动对焦装置时，作为缩小检查所需空间的技术，有专利文献1中所述的技术。在专利文献1的技术中，在测试图和检查对象的照相机之间配置测定用透镜31，同时使测试图在测定用透镜和测定用透镜前侧焦点之间移动，并对于看起来位于远方的测试图的虚像使自动对焦装置动作，进行检查，从而力图缩小空间。

专利文献1：特开平10-39195号公报

在专利文献1的技术中，从测定用透镜射出的光束的主光线的倾斜、以及射入照相机中的光通量等各种值，受测定用透镜和照相机的位置关系以及照相机的光圈的影响。总之，根据这些设定，不能得到所希望的虚像。但是在专利文献1中，关于这些设定方法，既没有揭示，也没有说明。

另一方面，希望用于检查的光学装置具有通用型，使其能够适用于各种检查对象。特别是，近年来用于手机的照相机等，要求照相机非常小型化，照相机的变化也很多，因此确保通用型是很重要的。但是，专利文献1的技术是测定用透镜和保持检查对象的照相机的基座部分形成一体化的装置，也没有说明这个问题。

本发明的目的是提供一种能够缩小空间并且通用性强的检查用光学装置、以及具有该光学装置的检查装置和检查方法。

发明内容

本发明的第1观点的检查用光学装置，是向包含物镜和通过该物镜拍摄被拍物的摄像元件的检查对象、投射作为对上述检查对象配置在规定位置上的检查用的被拍物的规定图案的光学装置，具有：与上述物镜对向配置、并形成上述图案的测试图；从上述检查对象来看从上述测试图的背后侧向上述测试图照射光的光源；以及设置在上述测试图和上述物镜之间的物体距离变换透镜，上述物体距离变换透镜，为了将来自上述测试图的光变换为等同于比上述测试图更远处的光，将来自上述测试图的各同族光束分别呈放射状射出，同时射出各同族光束，使得各同族光束的由该物体距离变换透镜本身规定的主光线互相会聚，上述测试图配置在比上述规定位置更靠近上述检查对象的位置上。

本发明的第2观点的检查用光学装置，是向包含物镜的检查对象照射光的光学装置，具有：光源；被上述光源的光照射的被投影物；以及使来自上述被投影物的上述光源的光透过、并照射在上述物镜上的物体距离变换透镜，上述物体距离变换透镜，为了将来自上述被投影物的光变换为等同于比上述被投影物更远处的光，将来自上述被投影物的各同族光束分别呈放射状射出，同时射出各同族光束，使得各同族光束的由该物体距离变换透镜本身决定的主光线互相会聚。

本发明的第3观点的检查用光学装置，是向包含物镜的检查对象照射光的光学装置，具有：光源；被上述光源的光照射的被投影物；以及使来自上述被投影物的上述光源的光透过、并照射在上述物镜上的物体距离变换透镜，配置上述被投影物，使得上述物体距离变换透镜侧的端部位于比上述物体距离变换透镜的上述被投影物侧的焦点更靠近上述物体距离变换透镜侧，上述物体距离变换透镜的射出光瞳位置设定在比该物体距离变换透镜的上述物镜侧的透镜端更靠近外侧处。

最好设定上述物体距离变换透镜的射出光瞳位置，使其与上述物镜的入射光瞳位置一致。

最好设定上述物镜的上述物体距离变换透镜侧的主点，使其位于比上述物体距离变换透镜的上述物镜侧的焦点更靠近上述物体距离变换透镜侧处。

最好设置上述被投影物，使其能够在上述被投影物侧的焦点和上述物体距离变换透镜之间移动。

最好还具有以与上述光源的光路并列的轴为中心、能够旋转的旋转体，沿着上述旋转体的圆周方向配置多个上述被投影物，伴随着上述旋转体的旋转，来切换插入上述光路中的被投影物。