[发明专利]压电/电致伸缩器件

权利要求书

1.一种压电/电致伸缩器件，其包括：

薄板部；

固定部，支撑所述薄板部；以及

压电/电致伸缩元件，其通过至少在所述薄板部的平面上层压多个电极和至少一个压电/电致伸缩层而形成，并具有由所述多个电极的相应的侧端面和所述至少一个压电/电致伸缩层的侧端面形成的侧端面，

其中，压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积相对于压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影的面积的比率为四或以下。

2.根据权利要求1所述的压电/电致伸缩器件，其中所述压电/电致伸缩元件的侧端面通过向切割面施加规定的特定处理而形成，所述切割面通过切割包括所述电极和压电/电致伸缩层的层压体而形成。

3.一种用于制造压电/电致伸缩器件的方法，所述压电/电致伸缩器件包括：

薄板部；

固定部，支撑所述薄板部；以及

压电/电致伸缩元件，其通过至少在所述薄板部的平面上层压多个电极和至少一个压电/电致伸缩层而形成，并具有由所述多个电极的相应的侧端面和所述至少一个压电/电致伸缩层的侧端面形成的侧端面，其中，所述方法包括以下步骤：

切割包括所述电极和压电/电致伸缩层的层压体；以及

通过向由切割形成的切割面施加规定的特定处理而形成所述压电/电致伸缩元件的侧端面，以使所述压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积相对于所述压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影的面积的比率可以是四或以下。

4.根据权利要求2所述的压电/电致伸缩器件，或根据权利要求3所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中所述特定处理是对所述切割面进行YAG激光加工的处理。

5.根据权利要求2所述的压电/电致伸缩器件，或根据权利要求3所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中所述特定处理是对所述切割面进行准分子激光加工的处理。

6.根据权利要求2所述的压电/电致伸缩器件，或根据权利要求3所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中所述特定处理是对所述切割面进行喷砂的处理。

7.根据权利要求2所述的压电/电致伸缩器件，或根据权利要求3所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中所述特定处理是对所述切割面进行超声波清洗的处理。

8.根据权利要求2所述的压电/电致伸缩器件，或根据权利要求3所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中所述特定处理是对所述切割面进行热处理。

9.一种用于制造压电/电致伸缩器件的方法，所述压电/电致伸缩器件包括：

薄板部；

固定部，支撑所述薄板部；以及

压电/电致伸缩元件，其通过至少在所述薄板部的平面上层压多个电极和至少一个压电/电致伸缩层而形成，并具有由所述多个电极的相应的侧端面和所述至少一个压电/电致伸缩层的侧端面形成的侧端面，其中，所述方法包括以下步骤：

第一抛光工序，通过使用抛光布抛光来使所述压电/电致伸缩元件的侧端面的角部形成圆角和/或倒角；以及

随后的第二抛光工序，通过使用抛光布抛光并从而完成所述压电/电致伸缩元件的所述侧端面的平面部分形成所述压电/电致伸缩元件。

10.根据权利要求9所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中在所述第一抛光工序中使用的抛光布比在所述第二抛光工序中使用的抛光布软。

11.根据权利要求9或10所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中在所述第一抛光工序中对所述压电/电致伸缩元件的侧端面的角部形成圆角时，所述圆角具有2到200μm范围内的曲率半径。

12.根据权利要求9或10所述的制造压电/电致伸缩器件的方法，其中在所述第一抛光工序中对所述压电/电致伸缩元件的侧端面的角部进行倒角时，在所述角部边缘的倒角长度在2到200μm范围内。

13.一种压电/电致伸缩器件，其由根据权利要求9-12中任一项所述的制造压电/电致伸缩器件的方法来制造。