[发明专利]压电/电致伸缩器件

说明书

技术领域

本发明涉及压电/电致伸缩器件，该器件包括固定部、由固定部支撑的薄板部以及由层状电极和压电/电致伸缩层构成的压电/电致伸缩元件。

背景技术

上述类型的压电/电致伸缩器件已被有效地发展成用于精密加工的促动器、用于控制读和/或写光信息、磁信息等的读和/或写元件(例如，硬盘驱动器的磁头)的位置的促动器、用于将机械振动转换为电信号的传感器或者类似器件。

日本专利申请公开No.2001-320103公开了此类压电/电致伸缩器件的实例，该实例在图13中示出。压电/电致伸缩器件包括固定部100、由固定部100支撑的薄板部110，设置于薄板部110的相应尖端且适于保持物体(例如，硬盘驱动器的磁头)的保持部(可动部)120、以及至少在薄板部110的相应表面上形成的压电/电致伸缩器件130，每个压电/电致伸缩器件130包括交替层压的多个电极和多个压电/电致伸缩层。在压电/电致伸缩器件中，电场在压电/电致伸缩元件130的电极之间产生，以由此伸展并接触压电/电致伸缩元件130的压电/电致伸缩层，从而薄板部110变形。薄板部110的变形导致保持部120的位移(因此，导致由保持部120保持的物体的位移)。

图13的压电/电致伸缩器件制造如下。首先，如图14所示，制备多个陶瓷坯板(和/或陶瓷坯板层压体)。如图15所示，将这些陶瓷坯板层压起来而后进行烧结，从而形成陶瓷层压体200。如图16中所示，压电/电致伸缩层压体210形成于陶瓷层压体200的表面上，且每个皆包括交替层压的多个电极和多个压电/电致伸缩层。通过使用线锯WS来进行线切割(或者，例如，切片)，将压电/电致伸缩层压体210沿图17中所示的切割线C1-C4进行切割，从而生成压电/电致伸缩器件。

同时，在实际使用上述压电/电致伸缩器件的情况下(例如，在将该器件用作硬盘驱动器的磁头定位的促动器的情况下)，水分有时可能会沉积在压电/电致伸缩元件130的侧端面(沿图17中切割线C3或C4的切割面)上。此类水分可由例如大气(空气)中水蒸汽的凝结等所产生。

当水分沉积在压电/电致伸缩元件130的侧端面上(特别是在作为压电/电致伸缩元件130的侧端面的一部分的压电/电致伸缩层的侧端面上)时，水分沉积其上的侧端面上的压电/电致伸缩层的电阻降低，从而趋向于在设置各压电/电致伸缩层的电极两侧之间发生漏电。或者，因沉积在侧端面上的水分的存在而在压电/电致伸缩层的侧端面上产生所谓的离子迁移，其结果，趋向于在设置水分沉积其上的各压电/电致伸缩层的电极两侧之间发生短路。

当此类漏电发生时，电极之间的电压降低，从而在电极之间形成的电场的强度减弱。结果，压电/电致伸缩层的伸展和收缩量减小，且压电/电致伸缩元件130(也就是压电/电致伸缩器件)不能获得预定操作。此外，当此类短路发生时，在电极之间不产生电压，从而压电/电致伸缩元件130不会伸展或收缩，其结果，压电/电致伸缩元件130(也就是压电/电致伸缩器件)不能进行操作。

此外，当使用此类上述压电/电致伸缩器件来作为硬盘驱动器的磁头的定位用的促动器时，附着在硬盘上的碎屑、灰尘之类等可导致错误的信息读/写。因此，压电/电致伸缩器件将被放置在碎屑、灰尘等的产生(碎屑、灰尘等的产生在下面有时将被称作“灰尘产生”)能被抑制在最低的可能等级下的环境中。

在该情况下，上述公开的压电/电致伸缩器件用于由单个平面构成的器件的侧端面(沿图17中切割线C3或C4的切割面)与硬盘表面之间留有相对较小间隙的情况下，因而特别需要防止来自构成压电/电致伸缩器件的侧端面(沿图17中切割线C3或C4的切割面)的构成部件的侧端面的微粒脱离所致的灰尘产生。根据以上观点，近年来对此类压电/电致伸缩器件附加与灰尘产生相关的测试项目。

考虑到上述情况，上述公开的压电/电致伸缩器件需要有效地抑制在实际使用压电/电致伸缩器件时水分在压电/电致伸缩元件130的侧端面上沉积以及来自侧端面的灰尘产生。

发明内容

鉴于上述情况，本发明的目的是提供可有效抑制水分在压电/电致伸缩元件的侧端面上沉积以及来自侧端面的灰尘产生的压电/电致伸缩器件。

为获得上述目的，本发明提供压电/电致伸缩器件，其包括：薄板部；固定部，支撑薄板部；以及压电/电致伸缩元件，每个皆通过至少在每个薄板部的平面上层压多个电极和至少一个压电/电致伸缩层而形成，并具有由多个电极的各侧端面和至少一个压电/电致伸缩层的侧端面形成的侧端面，其中，压电/电致伸缩元件的侧端面的实际表面积相对于压电/电致伸缩元件的侧端面的正投影的面积的比率为四或以下。