[发明专利]基板的清扫装置和清扫方法

权利要求书

1.一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表 面，其特征在于，具有：

第一清扫单元，通过压紧滚子将清扫部件压紧在上述基板的一个侧 边的上下表面上，从而对该一个侧边的上下表面进行清扫；

第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，通过压紧滚子将清扫 部件压紧在与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边的上下表面 上，从而对该另一个侧边的上下表面进行清扫；

间隔调整机构，按照所清扫的基板的宽度尺寸，调整上述第一清扫 单元和第二清扫单元的相对间隔；以及

搬运机构，在清扫部件被压紧在上述基板的一个侧边的上下表面和 另一个侧边的上下表面的状态下，在相对的第一清扫单元与第二清扫单 元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基板，从 而同时对上述基板的一个侧边的上下表面和另一个侧边的上下表面进行 清扫。

2.如权利要求1所述的基板的清扫装置，其特征在于，在上述第一、 第二清扫单元的上述基板的搬运方向上游侧设置了吸引机构，该吸引机 构在清扫上述基板的侧边之前吸引除去附着在该侧边上的灰尘。

3.一种基板的清扫方法，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表 面，其特征在于，具有：

将设置在二组清扫部件的前面的各上下清扫部的压紧滚子的间隔 设定为与上述基板的宽度尺寸相同的工序，所述二组清扫部件对上述基 板的相对的一个侧边的上下表面和另一个侧边的上下表面进行清扫；

在向规定方向搬运上述基板的同时，将各一对的压紧滚子向接近的 方向驱动，同时对位于与被搬运的上述基板的搬运方向交叉的方向上的 一个侧边和与该一个侧边相对的另一个侧边的各自的上下表面进行清扫 的工序。