[发明专利]基板的清扫装置和清扫方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于清扫形成在液晶面板等基板上的电极的清扫装置和 清扫方法。

背景技术

液晶面板和等离子体显示器面板等基板在该基板的侧边部设有电 极，利用压焊装置，在该电极上通过加压加热来连接TCP(Tape Carrier  Package即，薄膜封装)和IC芯片等电子部件。

上述电极和电子部件通常通过各方异性导电部件电连接。因此，在 连接部分，为了得到电气性良好的导通状态，需要上述电极面不因附着 灰尘等造成污染。

上述电极通常形成在基板的上表面。但是，在向该电极压焊电子元 件时，若在基板的下表面附着了灰尘，则有压焊时损伤基板的危险。从 而，就在向基板的电极面粘贴各向异性导电部件之前，进行利用清扫装 置清扫该电极面的工作。

上述清扫装置具有沿着规定方向搬运基板的台子，在该台子的上方， 由供给卷轴和卷绕卷轴撑拉来设置带状的清扫部件。从喷嘴滴下乙醇等 挥发性溶剂渗入到该清扫部件中，使渗入了该溶剂的部分移动到规定位 置，通过使其按照规定的压力与被搬运的基板的缘部的电极面接触，来 清扫上述电极面。

在上述基板是高精密的液晶面板和等离子体显示器面板的情况下， 不仅在基板上的2个边上，有时在3个边和4个边上形成电极。在清扫 这样的基板的情况下，以前是利用上述清扫装置清扫了上述基板的一个 边以后，通过使载置了基板的台子按90度依次旋转来清扫上述基板的剩 余的边。

专利文献1中示出了这样的现有的清扫装置。

专利文献1：特开2003-53281号公报

例如，在基板的4个边上形成有电极的情况下，要用现有的清扫装 置清扫该基板，就必须要反复进行4次清扫作业。即，在清扫了基板的 一个边后，使该基板旋转90度后，清扫与上述一个边相邻的边，按照边 的数量反复进行该清扫工作。

因此，清扫基板所需的生产节拍时间变长，因此成为导致生产率降 低的原因。

此外，若仅清扫基板的一个侧边，则在清扫时，由于与清扫部件的 摩擦阻力而在基板上产生旋转力矩，有时基板就向旋转方向偏移。该情 况下，有时清扫部件就离开基板的一个侧边，不能准确地清扫该侧边。

发明内容

本发明的目的在于提供一种在清扫基板的多个侧边的情况下，能够 比现有技术缩短生产节拍时间，并且不在基板上产生旋转力矩后向旋转 方向偏移的基板的清扫装置和清扫方法。

即，本发明的一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧 边的上下表面，其特征在于，具有：

第一清扫单元，清扫上述基板的一个侧边的上下表面；

第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，与上述一个侧边同时 清扫与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边；

搬运机构，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这 些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基板。

本发明的一种基板的清扫方法，清扫基板的至少相对的一对侧边的 上下表面，其特征在于，具有：

向规定方向搬运上述基板的工序；

同时清扫位于与进行搬运的上述基板的搬运方向交叉的方向上的一 个侧边和与该一个侧边相对的另一个侧边的工序。

一种基板的清扫装置，清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面， 其特征在于，具有：第一清扫单元，通过压紧滚子将清扫部件压紧在上 述基板的一个侧边的上下表面上，从而对该一个侧边的上下表面进行清 扫；第二清扫单元，与该第一清扫单元相对配置，通过压紧滚子将清扫 部件压紧在与上述基板的上述一个侧边相对的另一个侧边的上下表面 上，从而对该另一个侧边的上下表面进行清扫；间隔调整机构，按照所 清扫的基板的宽度尺寸，调整上述第一清扫单元和第二清扫单元的相对 间隔；以及搬运机构，在清扫部件被压紧在上述基板的一个侧边的上下 表面和另一个侧边的上下表面的状态下，在相对的第一清扫单元与第二 清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运上述基 板，从而同时对上述基板的一个侧边的上下表面和另一个侧边的上下表 面进行清扫。