[发明专利]利用照射的器件图案化无效

专利信息
申请号: 200580044619.1 申请日: 2005-12-29
公开(公告)号: CN101438430A 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: S·普拉卡什;N·特罗昂 申请(专利权)人: E.I.内穆尔杜邦公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56;G03F7/20
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 朱黎明
地址: 美国特*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 利用 照射 器件 图案
【权利要求书】:

1.一种在一层有机电子器件中形成图案的方法,包括:

选择性地照射所述层的一部分。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述层不是活性层。

3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述层中未被照射的部分仍保持 导电,从而形成由所述缓冲层的导电和不导电部分形成的图案。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述层的所述部分用紫外光照射。

5.如权利要求4所述的方法,其特征在于,还包括将掩模应用于所述层以阻 挡紫外光到达所述层中期望导电的部分。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:

将聚合物层沉积到所述层上;以及

通过掩模进行阴极沉积,所述掩模围绕期望导电的至少一个特征部。

7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,还包括将触点和引线沉积到所述 聚合物层上。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述气氛包括空气。

9.一种在有机电子器件中形成图案的系统,包括:

一层所述有机电子器件;以及

用于选择性照射所述层的一部分的光源,所述选择性照射的部分在照射后变 得不导电。

10.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述光源形成由所述层的导电 部分和不导电部分形成的图案。

11.如权利要求9所述的系统,其特征在于,所述光源是紫外光源。

12.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述紫外光源是激光器。

13.如权利要求11所述的系统,其特征在于,所述紫外光源是紫外光灯泡。

14.如权利要求9所述的系统,其特征在于,还包括用于阻挡所述照射到达 所述层中期望发光的部分的掩模。

15.一种有机电子器件,包括:

缓冲层,所述缓冲层具有导电部分和不导电部分,且所述缓冲层的不导电部 分经过紫外光照射。

16.如权利要求15所述的器件,其特征在于,一层聚合物层被沉积到所述缓 冲层上。

17.如权利要求15所述的器件,其特征在于,所述缓冲层是(聚(3,4-亚乙基二 氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸盐))。

18.一种包括如权利要求15所述的有机电子器件的组合件。

19.一种包括如权利要求15所述的有机电子器件的具有活性层的有机电子器 件。

20.一种用于制造包括如权利要求15所述的有机电子器件的有机电子器件的 制品。

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