[发明专利]利用照射的器件图案化

说明书

交叉引用

本申请要求2004年12月30日提交的美国临时专利申请第60/640,600号和 2005年6月27日提交的第60/694,394号的优先权，其公开内容通过引用整体结合 于此。

领域

本发明一般涉及器件图案化技术，尤其涉及涉及电子器件的一层的照射的图 案化技术。

背景

有机电子器件将电能转化成辐射，通过电子过程检测信号，将辐射转化为电 能，或包括一层或多层有机半导体层。例如，有机发光二极管(OLED)是一种类型 的有机电子器件，它包括在称为电致发光的过程中在施加电流时发射光子的特定有 机膜(光敏有机膜)。从有机电子器件中的光敏有机膜发射的光可用于电显示器和微 电子器件。例如，在有机电子器件显示器的某些应用中，有机电子器件用作段式显 示器或图标。因此，相同的图像由有机电子器件重复或连续地显示，而非从可被选 择性地激活以生成各种图像的一组像素生成图像。结果，在有机电子器件的制造过 程中形成图像。

常规的光刻胶图案化技术能够形成一般具有可接受的边缘清晰度的图像，但 这些技术最适用于具有刚性衬底的器件。诸如柔性有机电子器件显示器之类的具有 柔性衬底的器件不能对常规的光刻胶图案化技术作出良好的响应。

因此，需要的是一种能够克服以上不足和缺点的有机电子器件的图案化方法。

概要

在一个实施例中，提供一种用于在有机电子器件的一层中形成图案的方法以 及通过该方法制造的器件和子组件，该方法包括选择性地照射该层的一部分。

以上一般描述和以下详细描述仅仅是示例性和说明性的，并非对如所附权利 要求书定义的本发明的限制。

附图简述

各实施例示于附图中以增进对本文提出的概念的理解。

图1A是示出其中可实现本发明的各方面的示例性OLED的分解图的图；

图1B是示出常规器件图案化技术的分解图的图；

图1C是示出根据本发明的一个实施例的器件图案化技术的分解图的图；

图2是示出根据本发明的一个实施例的发光器件的图案化方法的流程图；以 及

图3是示出根据本发明的一个实施例的发光器件的图案化方法的流程图。

附图作为示例提供而不旨在限制本发明。本领域的技术人员将意识到附图中 的对象是为了简化和清楚的目的而示出的，并且不一定是按比例绘制的。例如，附 图中某些对象的尺寸可相对于其它对象放大以帮助增进对本发明的理解。

详细描述

在一个实施例中，提供了一种在有机电子器件的一层中形成图案的方法。该 方法包括选择地照射该层的一部分。

在一个实施例中，该层不是活性层。

在一个实施例中，该层的未照射的一部分维持导电，从而形成由该缓冲层的 导电和不导电部分形成的图案。

在一个实施例中，该层的该部分用紫外光照射。

在一个实施例中，该方法还包括将掩模涂到该层上以阻挡紫外光到达该层中 期望导电的一部分。

在一个实施例中，该方法还包括在该层上沉积聚合物层，并通过掩模进行阴 极沉积，其中该掩模围绕期望导电的至少一个特征部。

在一个实施例中，该方法还包括向聚合物层沉积触点和引线。

在一个实施例中，气氛包括空气。

在一个实施例中，提供了一种用于在有机电子器件中形成图案的系统。该系 统包括有机电子器件的一层和用于选择性地照射该层的一部分的光源，其中选择性 照射的部分在照射后变为不导电。

在一个实施例中，该光源形成由该层的导电部分和不导电部分形成的图案。

在一个实施例中，该光源是紫外光源。

在一个实施例中，该紫外光源是激光器。

在一个实施例中，该激光光源是紫外光灯泡。

在一个实施例中，该系统还包括用于阻挡照射到达该层中期望发光的一部分 的掩模。

在一个实施例中，提供了一种有机电子器件。该有机电子器件包括缓冲层， 其中该缓冲层具有导电部分和不导电部分，且其中该缓冲层的不导电部分用紫外光 照射。

在一个实施例中，将聚合物层沉积到该缓冲层上。

在一个实施例中，该缓冲层是(聚(3，4-亚乙基二氧噻吩)聚(苯乙烯磺酸盐))。

在一个实施例中，提供了一种包括以上讨论的有机电子器件的组合物。