[发明专利]液晶显示装置用基板的制造方法

权利要求书

1.一种液晶显示装置用基板的制造方法，是在对每个像素区域设置薄膜晶体管并且将用于驱动该薄膜晶体管的布线设置在上述像素区域周边的TFT基板上形成滤色器或者黑矩阵的液晶显示装置用基板的制造方法，其特征在于，包括：

涂敷步骤，在上述TFT基板上涂敷滤色器或者黑矩阵的感光材料；

拍摄像素区域的步骤，边以规定速度搬运涂敷了上述感光材料的TFT基板边利用具有多个受光元件的摄像单元拍摄上述像素区域，其中，该多个受光元件在与上述TFT基板的搬运方向大致正交的方向上排列成一列状；

检测基准位置的步骤，比较对该拍摄的图像进行处理而得到的图像数据与存储在存储部中的查询表来检测预先设定在上述像素区域中的基准位置；以及

形成步骤，以该检测到的基准位置为基准来控制曝光光的照射定时，在上述TFT基板上的规定位置形成滤色器或者黑矩阵的曝光图案。

2.根据权利要求1所述的液晶显示装置用基板的制造方法，其特征在于，

通过在上述TFT基板的搬运方向上将上述曝光图案的形成位置的近侧设为摄像位置的摄像单元，进行上述拍摄像素区域的步骤。