[发明专利]光掩模容器

说明书

相关申请案

本申请案主张基于第60/630,907号美国临时专利申请案的权利，其名称为“光掩模容器(Photomask Container)”，于2004年11月24日提出申请，该案内容完全并入本文中以提供参考。

技术领域

本发明涉及容器，且具体而言，本发明涉及用于存储及运输诸如光掩模等易碎装置的可重复使用的容器。

背景技术

通常，诸如较大的光掩模(例如长度大于24英寸)等易碎基材装置是存储和装运于预制的塑料盒中。由于其尺寸较大，这些预制的塑料盒，尤其是用于光掩模的塑料盒，制作成本相对较高且通常仅使用一次。因此，提供适用于光掩模或其他基材制造成本低廉，但仍能在运输和装运过程中保护产品不被损坏的容器，对于业界而言将是有帮助的。

发明内容

本文所提供的容器适用于存储和运输主尺寸至少为24英寸的大光掩模。在一实施例中，本发明的载具实质为单体式，其可旋转成型、随后进行机械加工来从本体上分离出封盖。本发明的容器可由静电耗散性材料模制而成，例如由其中分散有电导体的聚乙烯模制而成。可在本发明的容器内设置上部及下部衬垫，以牢固设置于其中的光掩模并保护光掩模不会因机械震动而受到损坏。上部及下部衬垫可由静电耗散性合成树脂制成，例如由其中分散有电导体的聚乙烯泡沫制成。可在本发明容器的侧面嵌件中机械加工出导槽，以保证使光掩模容易地滑入及滑出本发明的容器。

本发明提供一种制造本发明容器的方法，其适用于将光掩模保护性地紧固于其中，所述方法包括：形成一整体式容器本体，从所述容器本体的两侧上移除某些部分以形成狭槽，在所述侧面狭槽中嵌入导槽，并形成所述容器的封盖。所述盖或封盖较佳是原始模制而成“本体预成型件”的一部分，所述“本体预成型件”分一次或多次切割成若干部分而形成具有一开口端的本体或容器部分及所述封盖。所述容器本体及/或盖可由诸如聚乙烯等合成树脂制成，所述聚乙烯视需要可包含静电耗散性材料。所述狭槽可通过机械加工形成。所述导槽可通过热空气流焊接于狭槽中。或者，模具可具有金属嵌件，以在模制工艺过程中形成导槽。

本发明还提供一种将光掩模置于容器中的方法，其中所述容器具有一大体为一整体的本体，所述本体具有可嵌入地密封至所述本体的导槽，所述方法包括：将光掩模嵌入所述本体的一空腔内，使光掩模边缘接触所述导槽；并使用盖来密封所述容器。

本发明的一特征是提供一种模制的单体式容器。上述特征的一优点在于，例如通过不使用焊缝，使所提供容器的制造更为廉价且更为坚固。

本发明的一特征是提供由聚乙烯制成的一个实施例。上述特征的一优点在于，本发明的容器更容易循环使用。

本发明的又一特征是所提供的容器使用宽容差的旋转成型合成树脂制成，而嵌件是使用窄容差的机器棒料(例如聚乙烯)制成，以满足所提出的功能要求。上述特征的一优点在于，通过利用棒料，能以比现有技术加工式设计明显更低的成本来提供适合的容器。

本发明的一特征是其一实施例可实质上完全由静电耗散性材料构造而成。上述特征的一优点在于，静电荷对容器所容纳物品的损坏可大幅地最小化或者实质上得到消除。

本发明的再一特征是可使用旋转成型工艺及设计来形成一单维的容器。上述特征的一优点在于，可切割由此形成的容器来调节其高度，从而对长度进行客制化，以适合于不同高度及尺寸的光掩模。

本发明的再一特征是所提供容器的本体与盖可由同一工具模制而成。上述特征的一优点在于，所提供容器的制造成本大大降低。

本发明的又一特征在于，可通过一种由热空气流焊接合成树脂的协议来制造容器。上述特征的一优点在于，通过此种焊接协议所制成用于诸如光掩模及半导体晶片等物件的容器，其成本更为低廉，且相较以其他方式制成的容器可更为坚固。

在某些实施例中，可在实施旋转成型工艺之前，将能提供支撑光掩模或其他基材的槽的导槽嵌入模具中。这些嵌件可具有金属毛坯，用于保护此后移除的一预成型导槽，并可由熔化温度高于形成容器本体所用的树脂的塑料或其他兼容材料制成。

参照附图阅读下文说明，本发明的这些及其他特征及优点将变得一目了然。

附图说明

图1A是本发明的容器的透视图；

图1B是图1A所示容器的正视图；

图2是用于制造本文所述容器的本体预成型件的正视图；

图3是图1所示容器的侧视立面图；

图3A是图1A所示容器的本体预成型件的侧视图；