[发明专利]图像增强技术

权利要求书

1.一种改善在曝光到移动工件上的印花中的至少一个特征边缘陡度的方法，包括下述步骤：

在基本上与工件的移动方向相同的方向上移动表示所述印花的图案，

将图案的所述移动与曝光辐射源的脉冲长度同步。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述曝光辐射源是脉冲辐射源。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，还包括下述步骤：

提供机械组件的振动，从而获得图案的所述移动。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述机械组件是下列组中的至少一个：空间光调制器、分束器、透镜、工作台、反射镜。

5.一种将印花曝光到工件上的图案产生器，该工件至少部分地覆盖有辐射敏感层，该图案产生器包括：

工作台，其在第一方向上连续移动，且其上设置有所述工件，

至少一个机械组件，其能在所述第一方向上移动表示所述工件上的所述印花的图案，

同步器，其将脉冲长度与在所述第二方向上的图案的所述移动同步。

6.根据权利要求5所述的图案产生器，其中，所述图案产生器是以下组中的一个：直接写入器、掩模写入器、步进器、扫描器。

7.根据权利要求5或权利要求6任意一个所述的图案产生器，其中，曝光辐射源是脉冲辐射源。

8.根据权利要求5-7任意一个所述的图案产生器，其中，所述至少一个机械组件是下列组中的至少一个：空间光调制器、分束器、透镜、工作台、反射镜。

9.根据权利要求5-8任意一个所述的图案产生器，其中，所述机械组件能振动，从而获得图案的所述移动。

10.根据权利要求5-9任意一个所述的图案产生器，其中，还包括能在所述第一方向上使图案偏转的电光或声光偏转器。

11.根据权利要求1-4任意一个所述的方法，其中，还包括下述步骤：

在基本上与工件的移动方向相同的方向上使表示所述印花的图案偏转，

将图案的所述偏转与曝光辐射源的脉冲长度同步。