[发明专利]一种钨抛光液及其制备方法

权利要求书

1、一种用于金属钨的抛光液，其特征在于它是由磨料、氧化剂、PH值调节剂、螯合剂和去离子水混合组成，其中磨料占总重量的10％～50％，氧化剂占总重量的0.01％～6％，PH值调节剂占总重量的1％～6％，螯合剂占总重量的0.01％～1％，去离子水占总重量的37％～88.98％，抛光液PH值范围为11～12，粒径为15nm～100nm。

2、根据权利要求1所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的磨料是指粒径范围为15nm～100nm的水溶硅溶胶或金属氧化物的水溶胶。

3、根据权利要求2所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的金属氧化物的水溶胶是SiO₂、Al₂O₃、CeO₂或TiO₂的水溶胶。

4、根据权利要求1所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的氧化剂是双氧水、硝酸盐或过硫酸盐。

5、根据权利要求1所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的PH调节剂是氢氧化钠、氢氧化钾、多羟多胺和胺中的一种或两种以上组合。

6、根据权利要求1所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的螯合剂是具有水溶性且不含金属离子的化合物。

7、根据权利要求6所说的一种用于金属钨的抛光液，其特征在于所说的具有水溶性且不含金属离子的化合物是羟胺、胺盐和胺中的一种或两种以上组合。

8、一种用于金属钨的抛光液的制备方法，其特征在于首先将制备抛光液的所需的磨料、氧化剂、PH值调节剂、螯合剂和去离子水按配方比例取料，并分别进行过滤净化处理，然后在千级净化室的环境内，将各种组分在真空负压的动力下，通过质量流量计输入容器罐中并充分搅拌，混合均匀即可。