[发明专利]磁控溅射卷绕镀膜机

权利要求书

1.磁控溅射卷绕镀膜机，至少包括有卷材放卷机构和/或收卷机构的真空室，至少一个镀膜真空室，连接收卷、放卷真空室及镀膜真空室的真空连接箱，其特征在于有至少一个镀膜真空室中有真空镀膜箱体，位于真空镀膜箱体内的冷却辊，以冷却辊为中心周围布置有至少3组阴极和高低压真空泵及管道组成的真空抽气系统，磁控溅射的阴极的靶及靶芯设置在每个真空镀膜箱体中，阴极通过阴极法兰连接座以法兰连接形式安装在真空镀膜箱体壁上，气体、电源、冷却水连接管线置于真空镀膜箱体壁外，每组阴极之间有挡气隔离板将真空镀膜箱体壳体与冷却辊之间的空隙隔离形成抽气通道。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于镀膜真空室为二个。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于镀膜真空室为三个。

4.根据权利要求1或2或3所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于卷材放卷机构与卷材收卷机构同置于一个真空室内。

5.根据权利要求1或2或3所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于卷材放卷机构与卷材收卷机构分别设置在卷绕镀膜机两端独立设立的真空室内。

6.根据权利要求5所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于卷材放卷真空室及收卷真空室与真空连接箱之间设置有可以分隔两箱之间的真空度及真空状态的阀门，该阀门是翻板阀或闸板阀或滚动橡胶辊组成的门阀。

7.根据权利要求1或2或3磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于两组阴极之间设立的挡气隔离板由两块隔离板组成抽气通道，抽气泵及抽气管道放置在真空镀膜箱体两端和/或真空镀膜箱体之上。

8.根据权利要求1或2或3所述的磁控溅射卷绕镀膜机，其特征在于在多个真空镀膜室的首个阴极安装位置安装溅射所产生的等离子体使卷材镀前其表面被等离子体清洗的条形阴极离子源预处理机构。