[发明专利]一种复合铁电薄膜及其低温制备方法无效
| 申请号： | 200610025725.1 | 申请日： | 2006-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN101054671A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 翟继卫;徐金宝 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;C23C20/00;C23C14/34;C23C8/10;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟;钱春新 |
| 地址： | 200092上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 薄膜 及其 低温 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种复合铁电薄膜的低温制备方法，其步骤是：首先采用溶胶凝胶法配制前驱体溶液并在衬底上旋转涂覆所需厚度的薄膜，每层薄膜的热处理温度为300～400℃，然后将此薄膜在90～300℃的水热溶液中浸渍10～30小时，之后再放入1～35MPa的纯氧环境中处理10～30小时，其中，纯氧处理时的温度为100～400℃。
2、如权利要求1所述的复合铁电薄膜的低温制备方法，其特征在于：水热溶液中的离子种类与薄膜中所含的金属种类相适应，浓度在0.1-0.5mol/L，水热溶液的pH值范围在7-14之间，压力5-10MPa。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于同济大学，未经同济大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200610025725.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
