[发明专利]一种夹取装置有效
申请号: | 200610027373.3 | 申请日: | 2006-06-07 |
公开(公告)号: | CN101086484A | 公开(公告)日: | 2007-12-12 |
发明(设计)人: | 虞勤琴;李明;周晶;秦天 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
主分类号: | G01N23/227 | 分类号: | G01N23/227;H01L21/66 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 李勇 |
地址: | 201203*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 | ||
1.一种夹取装置,包括:
握持部;
夹取部通过连接部与握持部连接;
夹取部包括:凹形部,及由其两侧延伸的第一臂和第二臂,构成容置空间;
其特征在于,
第一凹槽,水平穿设于所述的第一臂,第二凹槽水平穿设于所述的第二臂,平行于凹形部及所述两个臂构成的平面,分别形成U形通道;
圆柱形孔,对称设置于所述第二凹槽的上下侧壁内;
转动轴,两端插入所述圆柱形孔中,可以转动;
连杆组件,包括多个连杆,固定在转动轴的圆周上,所述多个连杆和转动轴一起转动,用于夹取并将被夹取物锁定在夹取部的容置空间内,或释放被夹取物;
限位件,设置在所述第一臂的第一凹槽的下侧壁上,用于锁定连杆组件。
2.根据权利要求1所述的夹取装置,其特征在于,所述两个臂的端部内侧是斜面。
3.根据权利要求2所述的夹取装置,其特征在于,所述两个臂与各自的端部斜面成30°角。
4.根据权利要求1所述的夹取装置,其特征在于,所述的两臂之间的凹形部呈半圆形,所述两臂与凹形部构成U形容置空间。
5.根据权利要求4所述的夹取装置,其特征在于,所述的第一凹槽底部与凹形部底部的距离等于所述U形容置空间的宽度。
6.根据权利要求4所述的夹取装置,其特征在于,所述的第二凹槽深度稍大于所述U形容置空间的深度。
7.根据权利要求1所述的夹取装置,其特征在于,所述的连杆组件包括:
第一连杆,固定于转动轴,用于锁定被夹取物于夹取装置的容置空间内;
第二连杆,为连动杆,固定于转动轴,并与第一连杆成一定角度,适于容置被夹取物;
第三连杆,防锁杆,固定于转动轴上第一连杆的相反侧,用于防止第一连杆在未夹取时锁定;
所述三连杆可以连动。
8.根据权利要求7所述的夹取装置,其特征在于,所述的连杆组件通过转动轴与第二臂枢轴连接,进行枢轴运动。
9.根据权利要求8所述的夹取装置,其特征在于,所述的第一连杆包括:远离转动轴的第一端部和靠近转动轴的第二端部。
10.根据权利要求8所述的夹取装置,其特征在于,所述的每个连杆相互成一角度。
11.根据权利要求7所述的夹取装置,其特征在于,所述的限位件设置在一臂的第一凹槽的侧壁上,使所述限位件与第一凹槽底部之间适于容纳第一连杆。
12.根据权利要求1所述的夹取装置,其特征在于,所述的第二凹槽侧壁上,所述圆柱形孔的第二臂端侧靠近圆柱形孔处设置有挡位杆,用于挡止第一连杆。
13.一种夹取装置,包括:
握持部;
夹取部通过连接部与握持部连接;
夹取部包括:凹形部,及由其两侧延伸的第一臂和第二臂,构成容置空间;
其特征在于,
第一凹槽,水平穿设于所述的第一臂,第二凹槽水平穿设于所述的第二臂,平行于凹形部及所述两个臂构成的平面,分别形成U形通道;
圆柱形孔,对称设置于所述第二凹槽的上下侧壁内;
铰链销,两端插入所述圆柱形孔中,可以转动;
连杆组件,包括多个连杆,固定在铰链销的圆周上,所述多个连杆和铰链销一起转动,用于夹取并将被夹取物锁定在夹取部的容置空间内,或释放被夹取物;
限位件,设置在所述第一臂的第一凹槽的下侧壁上,用于锁定连杆组件。
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