[发明专利]一种夹取装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制程中所用的装置，特别是涉及进行芯片样品分析时用于夹取样品支撑台的夹取装置。 

背景技术

俄歇电子能谱仪(Auger)是一种非常灵敏的分析表面元素的工具。因为杂质气体会干扰分析结果，所以这种分析需要在超高真空(1×10^-9torr)环境中进行。而仪器暴露大气后的排气是一个很严格的过程，同时也是一个费时的过程，需要3～4天时间。因此应尽量避免破真空的维修。 

目前，操作人员是靠夹取装置把装有待分析样品的支撑台(holder)送入/送出分析腔，或者放到样品台上。图1所示是目前现有技术的一夹取装置的示意图。该夹取装置包括：握持部(图中未示出)，连接部1和夹取部，夹取部包括凹形部2、由其两侧延伸的两臂3和4，其开口的夹取部在一臂4上带有一个极细的弹簧丝11，直径小于1mm，用于夹取样品支撑台后进行锁定。但是该弹簧在使用不足两个月就失效。 

由于目前所用的夹取装置的近末端握持部是固定的，并且略高于夹取部的凹形部2，虽然有弹簧丝11作为锁定部件，但该弹簧丝使用不久即失效而导致支撑台从夹取部的凹形部2滑出而掉入分析腔。 

如果要取出支撑台，也只能打开分析腔，从而破坏真空。这样就必须重新经过烘烤(bake)、脱气(degas)、对准(align)，来设置分析腔的真空环境，既浪费了机器的工作时间，又可能影响机器的性能和寿命。 

发明内容

为了克服以上所述的现有技术存在的被夹取物容易从夹取部的凹形部滑出的问题，提出本发明。 

本发明的目的是提供一种夹取装置，可以将样品支撑台锁定在夹取装 置中，安全方便送进/送出分析腔，又可以容易释放样品支撑台。 

本发明的夹取装置，包括： 

握持部； 

夹取部，通过连接部与握持部连接； 

夹取部包括：凹形部，及由其两侧延伸的第一臂和第二臂，构成容置空间； 

其特征在于， 

第一凹槽，水平穿设于所述的第一臂，第二凹槽水平穿设于所述的第二臂，平行于凹形部及所述两个臂构成的平面，分别形成U形通道； 

圆柱形孔，对称设置于所述第二凹槽的上下侧壁内； 

转动轴，两端插入所述圆柱形孔中，可以转动； 

连杆组件，包括多个连杆，固定在转动轴的圆周上，所述多个连杆和转动轴一起转动，用于夹取物并将被夹取物锁定在夹取部的容置空间内，或释放被夹取物； 

限位件，设置在所述第一臂的浅槽的下侧壁上，用于锁定连杆组件。 

根据本发明的优选方式，两个臂的端部内侧是斜面，使被夹取的样品台容易进入夹取装置的容置空间，更优选为两臂端部内侧斜面与所述臂成30°角。 

夹取部的凹形部呈半圆形，这样两臂与凹形部构成U形容置空间。而两臂分别开有凹槽，凹槽平行于凹形部的半圆面，使第一臂和第二臂分别形成U形通道。两臂上的凹槽深度不同。限位件设置在第一臂的较浅凹槽的侧壁上。 

根据本发明的连杆组件包括：第一连杆，固定于转动轴，用于锁定被夹取物于夹取装置的容置空间内；第二连杆，为连动杆，固定于转动轴的圆周上，并与第一连杆成一角度，该角度使两个连杆之间适于容置被夹取物；第三连杆，为防锁杆，固定于转动轴的圆周上，第一连杆的相反侧，用于防止第一连杆在未夹取物体时锁定；所述三连杆可以连动。连杆组件连接到第二臂的第二凹槽侧壁上，以转动轴或铰链销结合。 

根据本发明，第二臂的较深凹槽侧壁上圆柱形孔的臂端侧靠近圆柱形孔处设置有挡位杆，用于挡止防锁杆。 

所述的限位件设置在第一臂的第一凹槽的侧壁上，使所述限位件与第一凹槽底部之间适于容纳第一连杆。 

本发明的一个优点是由于采用连杆组件，其在夹取被取物后，将第一连杆锁定在限位件内侧，防止被夹取物滑出。因此可提高使用效率和节约成本，减少维修费用。 

本发明的另一个优点是延长夹取工具的最佳使用寿命，连杆的使用寿命会远远大于弹簧丝。 

本发明还有一个优点是减少支撑台掉入分析腔的几率，减少污染分析腔的机会，维持仪器良好的性能，延长仪器使用寿命。 

本发明还有一个优点是本发明的夹取装置也可以应用到其他高真空分析仪器的支撑台操纵杆中。 

附图说明

下面结合附图详细介绍本发明。然而需要注意的是，这些附图只是用来说明本发明的典型实施例，而不构成为对本发明的任何限制，在不背离本发明的构思的情况下，可以具有其他更多等效实施例。而本发明的保护范围由权利要求书决定。