[发明专利]用于扫描电子显微镜的样品支架

权利要求书

1.一种用于扫描电子显微镜的样品支架，它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座，其特征在于，它还包括一个螺杆机构，所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆，所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连，所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度，所述螺杆机构的上部与样品台相连。

2.如权利要求1所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述螺杆机构包括两个部分，螺杆机构下部一端带有所述螺杆，上部为可更换模块，该可更换模块分别与螺杆机构下部和样品台通过可快速拆卸机构连接。

3.如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述的可快速拆卸机构为螺纹螺杆机构。

4.如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述螺纹螺杆机构是指在可更换模块的上下端分别具有螺纹孔和螺杆，在与之相连的螺杆机构下部和样品台分别具有与之配合的螺杆和螺纹孔。

5.如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述螺纹螺杆机构是指在可更换模块的上下端分别具有螺杆和螺纹孔，在与之相连的螺杆机构下部和样品台分别具有与之配合的螺纹孔和螺杆。

6.如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述螺纹螺杆机构是指在可更换模块的上下端均具有螺杆，在与之相连的螺杆机构下部和样品台分别具有与所述螺杆配合的螺纹孔。

7.如权利要求2所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述螺纹螺杆机构是指在可更换模块的上下端均具有螺纹孔，在与之相连的螺杆机构下部和样品台分别具有与所述螺纹孔配合的螺杆。

8.如权利要求2、4、5、6或7任一项中所述用于扫描电子显微镜的样品支架，其特征在于，所述每个可更换模块的高度根据需要进行设定。