[发明专利]用于扫描电子显微镜的样品支架有效

专利信息
申请号: 200610030097.6 申请日: 2006-08-15
公开(公告)号: CN101127293A 公开(公告)日: 2008-02-20
发明(设计)人: 苏凤莲;葛挺锋;章鸣;王俊杰 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人: 顾继光
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 扫描 电子显微镜 样品 支架
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种用于扫描电子显微镜的样品支架。

背景技术

现有的扫描电子显微镜(S-4700和S-4800)的样品支架,如图1所示,它包括样品台1、螺杆2和底座3,在样品台1上放置有样品5,该样品支架在调整高度时很容易将螺杆2旋出底座3,如图2所示,放进扫描电子显微镜室时可能不易发现,但是当从扫描电子显微镜室中取出的时候会卡在平台4上。并且当样品支架的高度调节范围比较大时,现有的支架需要更换不同长度的螺杆,频繁的更换容易造成底座螺孔与螺杆之间划牙,给扫描电子显微镜的安全操作带来隐患,严重的会使样品支架上的部件掉入扫描电子显微镜室。这些情况都需要扫描电子显微镜室破真空才能将样品支架取出,造成扫描电子显微镜机台的死机,对扫描电子显微镜机台的性能和使用寿命都有很大的影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种用于扫描电子显微镜的样品支架,它可以防止样品支架的螺杆旋出底座卡在平台上。

为了解决以上技术问题,本发明提供了一种用于扫描电子显微镜的样品支架,它包括样品台和中间具有螺纹孔的底座,其中,它还包括一个螺杆机构,所述螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆,所述螺杆与所述底座的螺纹孔相连,所述螺杆机构的下部可旋入底座部分不超过底座厚度,所述螺杆机构的上部与样品台相连。

所述螺杆机构包括两个部分,螺杆机构下部一端带有所述螺杆,上部为可更换模块,该可更换模块分别与螺杆机构下部和样品台通过可快速拆卸机构连接。

所述的可快速拆卸机构为螺纹螺杆机构。

所述每个可更换模块的高度根据需要进行设定。

因为本发明将现有单个螺杆更换为螺杆机构,在螺杆机构的下部具有用于调节高度的螺杆,并且对螺杆可旋入底座部分进行了限制,所以避免了螺杆旋出底座。另外在螺杆机构的上部采用可更换模块,该模块的高度根据需要进行设定,那么就带来了如下的好处,首先无需频繁更换螺杆,只需要更换可更换模块,就可以满足样品不同高度的需求,其次,这样就提高了底座螺纹孔与螺杆的使用寿命,提高了调节精度。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步阐述。

图1是现有样品支架结构示意图;

图2是现有样品支架使用状态示意图;

图3是本发明样品支架结构示意图;

图4是本发明样品支架使用状态示意图;

图5是本发明样品支架的螺杆机构结构示意图;

图6是图5螺杆机构中的可更换模块结构示意图;

图7是图5螺杆机构的下部结构示意图。

具体实施方式

如图3所示,它是本发明样品支架结构示意图。它包括样品台1、螺杆机构20和中间带有螺纹孔的底座3,在样品台1上放置有样品5,另外螺杆机构20的螺杆27旋入到底座3中。

本发明的螺杆机构20的具体结构,可以采用如图5-7所示。如图5所示,螺杆机构20由可更换模块21和下部22组成。如图6所示,可更换模块21由螺杆部分23、本体24和螺纹孔25组成。如图7所示,下部22由螺杆27、挡块28和联接螺杆26。其中联接螺杆25和螺纹孔25就是实现可更换模块21和下部22连接的螺纹螺杆机构。当然可以根据需要采用其它形式的螺纹螺杆机构,比如可更换模块21的下端采用螺杆,而下部22的对应位置采用螺纹孔,或者采用其它的形式。

当然可更换模块21和样品台1的连接也可以采用螺纹螺杆机构,即可以利用可更换模块21的螺杆部分23和样品台1底部的螺纹孔实现。同样道理,它也可以采用其它形式的螺纹螺杆机构。

另外,可更换模块21的本体24可以根据需要设定不同的高度,便于满足不同样品的需要。下部22的螺杆27的长度要小于底座3的厚度,并且挡块28的宽度大于底座3的螺纹孔的直径,这样可以保证下部22可旋入部分不会超出底座。如图4所示,它是螺杆27完全旋入到底座3的状态图,此时螺杆27仍然在底座3内,所以不会旋入到平台4内,这样也就不会卡在平台4上了。

在每次使用的时候,只需要根据需要更换不同的可更换模块21即可,而不需要更换下部22,这样就减少了螺杆27和底座3的螺纹孔之间的损耗。

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