[发明专利]防护膜结构有效
| 申请号： | 200610061747.3 | 申请日： | 2006-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN101110276A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G12B17/08 | 分类号： | G12B17/08;H05K5/00;G12B9/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防护 膜结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种防护膜结构，其特征在于，所述防护膜结构包括一底膜及一抵抗膜，所述底膜用于形成在一待保护基底表面，所述抵抗膜形成在该底膜的表面，该底膜的材料包括非晶体氮化硼或非晶体碳化硼，该抵抗膜包括依次形成在底膜表面的一粘结层，一中间层及一披覆层。
2.如权利要求1所述的防护膜结构，其特征在于，所述粘结层的材料为铬或钛。
3.如权利要求2所述的防护膜结构，其特征在于，所述中间层的材料为氮化铬或氮化钛。
4.如权利要求3所述的防护膜结构，其特征在于，所述披覆层的材料为类钻碳、氮化铝或二氧化钛。
5.如权利要求1所述的防护膜结构，其特征在于，所述底膜的材料为掺有纳米粒子的非晶体氮化硼或掺有纳米粒子的非晶体碳化硼。
6.如权利要求5所述的防护膜结构，其特征在于，所述纳米粒子在掺有纳米粒子的非晶体氮化硼或在掺有纳米粒子的非晶体氮化硼在中的质量百分比均为0.1％～10％。
7.如权利要求5所述的防护膜结构，其特征在于，所述纳米粒子的粒径为5～200纳米。
8.如权利要求7所述的防护膜结构，其特征在于，所述纳米粒子的粒径为10～100纳米。
9.如权利要求5所述的防护膜结构，其特征在于，所述纳米粒子为碳纳米管、碳纳米球、中空纳米粒子或碳包金属胶囊。
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