[发明专利]像素结构及其液晶显示面板有效
申请号: | 200610072316.7 | 申请日: | 2006-04-12 |
公开(公告)号: | CN101055384A | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
发明(设计)人: | 刘文雄 | 申请(专利权)人: | 中华映管股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G02F1/133;H01L29/786;H01L21/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 陈亮 |
地址: | 台湾省台北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素 结构 及其 液晶显示 面板 | ||
技术领域
本发明涉及一种像素结构及其显示面板,且特别是涉及一种栅极漏极间寄生电容(Cgd)不变动的像素结构与应用此像素结构的液晶显示面板。
背景技术
随着视频技术的迅速发展,平面显示器(Flat Display Panel,FDP)已成为人们获得图像信息的重要介面。其中,由于液晶显示器(LiquidCrystal Display,LCD)具备优异的显示性能与成熟的制造技术,故大部分的移动电话、数字相机以及笔记本计算机等的显示屏幕皆使用液晶显示面板(LCD Panel)。
一般而言,液晶显示面板中所具有的薄膜晶体管阵列基板,其制造过程通常包括多次的光刻及蚀刻步骤,意即通过曝光的动作,将光刻掩膜上的图案转移至已形成于基板上的光刻胶层,并通过显影的步骤以图案化光刻胶层。接着,再利用图案化光刻胶层作为蚀刻掩膜,对光刻胶层下方的膜层进行蚀刻,进而形成薄膜晶体管的栅极、半导体层、源极、漏极、像素电极以及保护层等构件。
图1为一种公知像素结构的示意图。请参照图1,此像素结构100适于由扫描线110与数据线120而驱动,且像素结构100包括薄膜晶体管130与像素电极140。薄膜晶体管130是通过接触窗开口150而与像素电极140电连接。其中,此薄膜晶体管130包括栅极130a、半导体层130b、源极130c、漏极130d。而栅极130a与扫描线110是第一金属层(Metal 1),源极130c、漏极130d与数据线120是第二金属层(Metal 2)。值得注意的是,栅极130a(Metal 1)以及源极130c与漏极130d(Metal 2)之间具有一层介电层(图中未表示),而使得栅极130a与源极130c、漏极130d之间分别产生栅极源极间寄生电容(以下称为Cgs)以与栅极漏极间寄生电容(以下称作Cgd)。
承上述,利用光刻蚀刻方式制造上述第一金属层与第二金属层的元件时,若发生曝光偏移,将使薄膜晶体管130的Cgs、Cgd产生变动。
图2A为未发生曝光偏移的像素结构以及其像素电压的示意图。图2B为发生曝光偏移的像素结构以及其像素电压的示意图。请先参照图2A,在像素结构100A中,源极130c是位于栅极130a上方,而漏极130d是部分位于栅极130a上方。请再参照图2B,其是产生曝光偏移的情形,亦即,源极130c’、漏极130d’相对于栅极130a’向下方移动,而使得像素结构100B的源极130c’与栅极130a’之间的重合面积减少,且漏极130d’与栅极130a’之间的重合面积增加。
承上述,由于图2B中的漏极130d’与栅极130a’之间的重合面积增加,所以像素结构100B的Cgd将会大于像素结构100A的Cgd。并根据以下的公式(1),较大的Cgd将会使馈通电压(以下称△Vp)(Feed through voltage)降低。
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