[发明专利]产生对准记号的方法

权利要求书

1.一种在基板上产生对准记号的方法，该方法包括：

提供光掩模，该光掩模定义至少一个对准记号组，该对准记号组包含第一曝光机可使用的第一对准记号与第二曝光机可使用的第二对准记号；以及

在该第一曝光机中利用该光掩模以在该基板上产生该第一对准记号以及该第二对准记号；

其中该第一对准记号紧邻该第二对准记号。

2、如权利要求1所述的方法，其中该第一曝光机和该第二曝光机为不同种类的曝光机。

3.如权利要求1所述的方法，其中该光掩模定义多个对准记号组，且该光掩模所定义的所有对准记号组中的该第一对准记号皆紧邻该第二对准记号。

4.如权利要求1所述的方法，其中该基板为玻璃基板。

5.如权利要求4所述的方法，其中该玻璃基板适用于液晶面板。

6.如权利要求1所述的方法，其中该第一曝光机为Canon曝光机，且该第一对准记号为Canon曝光机的对准记号。

7.如权利要求1所述的方法，其中该第二曝光机为Nikon曝光机，且该第二对准记号为Nikon曝光机的对准记号。