[发明专利]令透明基板上透明电极不可见的处理方法有效

专利信息
申请号: 200610080960.9 申请日: 2006-05-23
公开(公告)号: CN101078820A 公开(公告)日: 2007-11-28
发明(设计)人: 胡俊明 申请(专利权)人: 宸鸿光电科技股份有限公司
主分类号: G02F1/133 分类号: G02F1/133;G03F7/16;G03F7/26
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 赵燕力
地址: 台湾省台北县*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 透明 基板上 电极 可见 处理 方法
【说明书】:

技术领域

发明有关于一种令透明基板上透明电极不可见的处理方法,尤指在一透明玻璃基板上布设多条透明电极后,将一非导电纳米材料粒子所形成的溶液涂布在该透明基板及该等透明电极上,形成一平整且均匀的遮蔽层,以使该透明基板上未布设该等透明电极的部位与布设该等透明电极的部位对光线具有相同的折射率的处理方法。

背景技术

近年来,由于各方面技术的突飞猛进,带动了各项产业的蓬勃发展,其中尤以在电子、信息及通讯等产品上的进步特别显著,不仅在结构及功能上更为创新,在使用及输入方式上也更符合人性化的需求,且呈现更多元化的面貌,触控面板(Touch Panel)的出现,改变了传统电子产品的输入模式,令使用者不再局限于使用传统输入装置(例如:按键或鼠标)输入数据或操控指令,仅需由触控面板的人性化输入接口,依照画面上的功能图标,直接以手指或触控笔等点选欲执行的功能及指令,几乎完全无需任何教导及学习,即可顺利完成欲执行的工作。查,触控面板目前除已被广泛地应用在各式各样的个人化的电子产品上外,例如:掌上电脑(Palm-Sized PC)、个人数字助理(PDA)、信息家电(InformationAppliance)等,也已被广泛使用于医疗、交通、旅游及教育等相关用途的公共信息站中,使得触控面板的应用范围及市场需求,有不断扩大的趋势。

一般言,触控面板是在一透明玻璃基板(Glass)上布设所需的透明导电薄膜(ITO Film),形成一透明导电玻璃(ITO Glass),再搭配所需的排线及电路板,电路板上所设的控制IC可根据使用者在该触控面板上的触压位置,启动该位置相对应的控制指令,达成直接在该触控面板输入数据及指令的目的。由于,此种触控面板现已普遍被安装在各式电子产品上,作为液晶显示屏(liquid crystal display,简称LCD),故使用者可由直接触压该触控面板,输入数据及指令,而不需再装设其它的传统输入装置(如:键盘、鼠标),如此,即能腾出更多的工作空间,或安装更大的显示面板,方便使用者浏览及输入资料。

由前揭说明可知,透明导电玻璃(ITO Glass)是触控面板的主要构件,该透明导电玻璃主要是透明玻璃基板及透明导电层所构成,其制作原理是在原本不导电的该透明玻璃基板上,镀上一层可导电的透明金属材料,以在该透明玻璃基板上形成该透明导电层。一般言,该透明导电层的材质为「氧化铟锡」(Indium Tin Oxide,简称ITO),而该透明导电层是由多条布设在该透明玻璃基板的ITO透明电极所组成,为更能了解该透明导电玻璃的构造,特将其制作工艺过程说明如下,请参阅图1所示:

清洗101:在对该透明玻璃基板进行加工前,需清洗该透明玻璃基板的表面,以除去其上所沾附的尘埃及微粒;

镀膜102:在该透明玻璃基板的一例表面镀上一层氧化铟锡薄膜;

涂布光阻(P/R)层103:利用滚轮印刷,在该透明玻璃基板上镀有氧化铟锡薄膜的一侧表面涂布一层光阻剂;

预烤104:缓慢地对该透明玻璃基板进行加热,以将涂布在该透明玻璃基板上的光阻层予以定型,以便进行后续处理;

曝光105:以定量的紫外线光(Ultraviolet,简称UV)照射该透明玻璃基板上的光阻层,使该光阻层产生化学变化,而在该光阻层上产生一遮蔽图形区及一曝光区;

显影106:以一显影液清洗该曝光区,以洗去该曝光区内的光阻层,如此,该氧化铟锡薄膜即可露出;

蚀刻(Etching)107:再以王水洗去该曝光区所露出的该氧化铟锡薄膜;

剥离(Stripping)108:使用一碱性溶液(通常使用KOH,即氢氧化纳)对该遮蔽图形区进行清洗,使该遮蔽图形区上的该光阻层溶于该碱性溶液,即可在该透明玻璃基板上形成所需的该等I TO透明电极;

电检(After Etching Inspect)109:对该透明玻璃基板进行电极检查,若发现ITO电极间有短路现象时,利用一雷射修正机将短路点打掉,即完成该透明导电玻璃的制作,即可再进行后续处理以装配在该触控面板内。

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