[发明专利]机械手臂的无线三维位移校正系统无效

专利信息
申请号: 200610092585.X 申请日: 2006-06-16
公开(公告)号: CN101088717A 公开(公告)日: 2007-12-19
发明(设计)人: 杨盛华;梁家逢 申请(专利权)人: 力晶半导体股份有限公司
主分类号: B25J9/16 分类号: B25J9/16;H01L21/67;H01L21/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 魏晓刚;李晓舒
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 机械 手臂 无线 三维 位移 校正 系统
【权利要求书】:

1.一种机械手臂的无线三维位移校正系统,包括:

一无线三维位移监视传感器,其包括:

一电子水平传感器,其包括:

一弧状空间,其内部以液态物质填充且具有一气泡;以及

一传感器,其用以感测该气泡的位置;以及

一校正器,自该传感器取得该气泡的位置并且显示在其显示屏上,根据一预设标准范围判断一制作工艺设备是否呈现水平状态,以及若非为水平状态则计算出该制作工艺设备的偏移量。

2.根据权利要求1所述的无线三维位移校正系统,其特征在于,该传感器为一CCD传感器,用以感测该气泡的三维位置。

3.根据权利要求1所述的无线三维位移校正系统,其特征在于,该制作工艺设备为一机械手臂前端的铗子、一三脚位制作工艺板的脚位以及一制作工艺板。

4.一种机械手臂的无线三维位移校正系统,包括:

一三脚制作工艺板,其具有三支脚位;

一无线三维位移监视传感器,具有一光学尺,其设置在该三脚制作工艺板上方,其中当该光学尺为一双光学尺,将其中一光学尺作为一发射端以发出细密平行光束,另一光学尺作为一接收端以收取光束信号;以及

一校正器,自该无线三维位移监视传感器接收光束被遮断的状态并且显示在其显示屏上,并且经过运算后判断该三脚制作工艺板的每一脚位的Z轴间隙是否超出一默认值。

5.根据权利要求4所述的无线三维位移校正系统,其特征在于,还包括利用一机械手臂前端的铗子夹住该无线三维位移监视传感器并前后移动,以使该光学尺通过该三脚制作工艺板的每一脚位。

6.一种机械手臂的无线三维位移校正系统,包括:

一制作工艺板,其上具有一中央记号;

一无线三维位移监视传感器,其设置在该制作工艺板上方,具有一传感器,该传感器上定义有一标准记号,其中该传感器将该中央记号的中心位置与该标准记号的中心位置进行比对;以及

一校正器,自该传感器取得该中央记号的中心位置与该标准记号的中心位置的相对位置信息,并且根据该相对位置信息判断该制作工艺板是否发生偏移,以及当发生偏移时计算出该制作工艺板的偏移量。

7.根据权利要求6所述的无线三维位移校正系统,其特征在于,该传感器为一X-Y轴CCD监视传感器。

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