[发明专利]机械手臂的无线三维位移校正系统

说明书

技术领域

本发明关于一种校正器，且特别关于一种机械手臂的无线三维(3D)位移校正系统。

背景技术

半导体制造厂在生产硅晶圆时，利用符合机械标准接口(StandardMechanical Interface，SMIF)的机械手臂(Robot Arm)自动将晶圆自晶圆盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)中取出，然后送入机台以防止晶圆受到污染。

然而，机台的机械手臂常因不同异常状况而导致手臂前端的铗子(Pincette)变形，因此设备人员必须随时根据不同异常状况对机械手臂进行调整以提高产品质量与生产效率。现行的调整方式是由人为主观判定，但往往因为人员素质及认定上不同而产生不同的调机质量。其次，机台的空间狭小，故无法容纳身材较高大的设备人员。综上所述，人员的主观判定与身材会间接影响机台复机的质量与时效。

因此，本发明提供了一种机械手臂的无线三维位移校正系统，可有效改善调机质量。

发明内容

基于上述目的，本发明实施例公开了一种机械手臂的无线三维位移校正系统，包括一无线三维位移监视传感器与一校正器。该无线三维位移监视传感器包括一电子水平传感器，该电子水平传感器具有一弧状空间与一CCD传感器。该弧状空间的内部以液态物质填充且具有一气泡。该传感器用以感测该气泡的位置。该校正器自该传感器取得该气泡的位置并且显示在其显示屏上，根据一预设标准范围判断一制作工艺设备是否呈现水平状态，以及若非为水平状态则计算出该制作工艺设备的偏移量。

本发明实施例还公开了一种机械手臂的无线三维位移校正系统，包括一三脚制作工艺板、一无线三维位移监视传感器以及一校正器。该三脚制作工艺板具有三支脚位。该无线三维位移监视传感器具有一光学尺，其设置在该三脚制作工艺板上方，其中当该光学尺为一双光学尺，将其中一光学尺作为一发射端以发出细密平行光束，另一光学尺作为一接收端以收取光束信号。该校正器自该无线三维位移监视传感器接收光束被遮断的状态并且显示在其显示屏上，并且经过运算后判断该三脚制作工艺板的每一脚位的Z轴间隙是否超出一默认值。

本发明实施例还公开了一种机械手臂的无线三维位移校正系统，包括一制作工艺板、一无线三维位移监视传感器以及一校正器。该制作工艺板上具有一中央记号。该无线三维位移监视传感器设置在该制作工艺板上方，其具有一X-Y轴CCD监视传感器传感器。该X-Y轴CCD监视传感器上定义有一标准记号，其将该中央记号的中心位置与该标准记号的中心位置进行比对。该校正器自该传感器取得该中央记号的中心位置与该标准记号的中心位置的相对位置信息，并且根据该相对位置信息判断该制作工艺板是否发生偏移，以及当发生偏移时计算出该制作工艺板的偏移量。

附图说明

图1为显示本发明实施例的校正器的外观示意图。

图2为显示本发明实施例的无线3D位移监视传感器的外观示意图。

图3为显示本发明实施例的无线3D位移监视传感器的结构剖析示意图。

图4为显示本发明实施例的电子水平传感器的结构剖析示意图。

图5A为显示本发明实施例的检测机械手臂前端的铗子的水平状态的示意图。

图5B为显示本发明实施例的检测三脚位制作工艺板的水平状态的示意图。

图5C为显示本发明实施例的检测制作工艺板的水平状态的示意图。

图6A、图6B为显示本发明实施例的利用光学尺检测Z轴间隙的示意图。

图7A、图7B为显示本发明实施例的利用X-Y轴CCD监视传感器检测X-Y轴偏移的示意图。

图8A、图8B为显示本发明实施例的利用电子水平传感器检测设备的水平状态与利用校正器显示水平状态信息的示意图。

图9A～图9C为显示本发明实施例的光学尺检测设备的Z轴间隙与利用校正器显示间隙信息的示意图。

图10A～图10C为显示本发明实施例的利用X-Y轴CCD监视传感器检测设备的X-Y轴偏移与利用校正器显示偏移信息的示意图。

主要组件符号说明

100～校正器

200～无线3D位移监视传感器

200’～无线3D位移监视传感器的俯视图

200”～无线3D位移监视传感器的侧视图

200～无线3D位移监视传感器的底视图

210～电子水平传感器

215～气泡

2150～CCD传感器

220～光学尺

230～X-Y轴CCD监视传感器

235～标准记号