[发明专利]光阻去除反应腔石英管的安装方法

权利要求书

1.光阻去除反应腔石英管的安装方法，其特征在于包括以下步骤：

①加工制作模具托盘，托盘中心开有圆柱形凹槽，其凹槽直径∮＝20.4±0.2cm，凹槽深度h＝1.10±0.01cm，还加工一只厚度L＝0.55±0.05mm的软滑片；

②模具托盘平放，将石英管竖直放置于模具托盘上、使石英管的下管口嵌入托盘的凹槽内，将护套套于石英管外壁；

③从石英管的上管口压入上“O”形密封圈；

④盖上石英管的上盖，通过螺栓把石英管的上盖与石英管的护套连接在一起，并通过锁紧螺栓来压紧“O”形密封圈，使石英管上盖、石英管护套及石英管组合于一体；

⑤将石英管上盖、石英管护套及石英管所组合的整体侧放或悬空，使软滑片从石英管下管口伸进石英管内，用软滑片滑过石英管上盖与石英管上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；若不均匀，将组合的整体重新放置于模具托盘上，通过调节上盖螺栓使其间隙均匀；

⑥从石英管的下管口压入下“O”形密封圈；

⑦将预装好的满足间隙要求的带有上下“O”形密封圈的由石英管上盖、石英管护套及石英管所组合的整组安装于反应室上并对中，与反应室盖子连接固定。

2.根据权利要求1所述的光阻去除反应腔石英管的安装方法，其特征在于：所述模具托盘的材质为塑料。

3.根据权利要求1所述的光阻去除反应腔石英管的安装方法，其特征在于：所述软滑片为塑料制件，表面粗糙度为1.6。